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第7章电容式传感器

7.1电容式传感器的结构与工作原理

7.1电容式传感器的结构与工作原理

对于平板型电容器（如图7-1）的电容量C与两平行极板的

有效覆盖面积S、极板间介质的介电常数ε成正比，与

平行极板间的距离d成反比，即

式中，S—两极板相互遮盖的有效面积；

d—两极板间的距离，也称极距；

ε—两极板间的介质常数；

当被测信号使ε、S、d中的任一参数变化时，都使电容量C

也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中

一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，

通过测量电路就可转换为电量输出。

根据这个原理，电容式传感器可分成三种类型：变面积

式、变极距式和变介电常数式。

在实际使用中，电容式传感器常常以改变平行板间的极

距d来进行测量。图7-2所示为常见的电容式传感元件的

结构形式。

1．变极距式电容传感器

1．变极距式电容传感器

电容量C与极板距离d成反比，当图7-3中动极板在被测参

量的作用下发生位移时，改变了极距d的大小，从而使极

板之间的电容大小发生变化。电容的初始值为

，当动极板在被测参量的作用下发生位移，使极距d减小

了Δd，则电容C将增加ΔC，当Δd<<d时，有

则电容的变化量为

所以

而电容传感器的灵敏度为K

上式说明了单位位移能引起输出电容变化的大小，d

越小，灵敏度越高，所以要提高电容传感器的灵敏度，应

该减小其间隙d，但d的减小要受到电容器击穿电压的影响，

同时也增大了非线性误差，而且对传感器的加工精度要求

也提高了。

虽然减小极距d可以提高电容式传感器的灵敏度，但是

d越小，电容器越容易被击穿，改善击穿的办法式在极板

间放置云母片，云母的相对介电常数为空气的7倍，其击

穿电压不小于103kV/mm，而空气的击穿电压仅为3kV/mm。

因此，即使厚度为0.01mm的云母片，它的击穿电压也不小

于10kV/mm。所以有了云母片，极板之间的起始距离可以

大大减小。

2．变面积式电容传感器

2．变面积式电容传感器

变面积式电容传感器有三种类型的变面积传感器

图7-5是平板直线位图7-6是电容角位移式图7-7是圆柱形电容

移式电容传感器，上传感器，动极板的轴由位移传感器，在初始

极板是可以左右移动被测物体带动而旋转一位置时，动极板和定

的动极板，下极板是个角位移θ度时，两极极板相互覆盖，当动

固定不动的定极板板的遮盖面积S减小，极板发生位移后，其

因而电容量C也随之呈电容量和位移量基本

线性关系减小成线性变化关系

3．变介电常数式电容传感器

3．变介电常数式电容传感器

§因为各种介质的相对介电

常数不同，所以在电容器两

极板间插入不同介质时，电

容器的电容量也就不同，这

就是变介电常数式电容传感

器，如图7-8所示。

它们常用来检测片状材料的厚度、性质、颗粒状物体的含水

量以及测量液体的液位等。

表7-1列出了各种常用气体、液体、固体介质的相对介电常数。

当某种介质处于两极板间时，介质越厚，电容量越大。当介质厚度

δ保持不变、而相对介质常数ε改变，如空气湿度变化，介质吸

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入潮气时，电容量将发生较大的变化。因此该电容器可作为相对介

电常数ε的测试仪器，如空气相对湿度传感器。反之，若ε不变，

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