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DLD不良原因及分析KDS中元DLD不良？D:DriveL:LevelD:DependencyDLD不良要因要因１：晶片表面不良要因２）晶片表面污脏要因３）膜強度不足要因４）蒸着膜厚不良要因５）接着剤不良要因6）支架表面污脏要因７）異物付着８）溅点要因９）内部雰囲気異物DLD不良结构(图解）良品、不良品的DLD特性DLD解析顺序（工程用）①收集DLD不良品的DLD数据②确认DLD数据,将CI値大的不良品挑出③打开不良品④内部确认,电极上下面确认⑤假如无异常、就追加确认DLD形成的主要原因.不明白的时候,就向技术,QA报告DLD不良改善**励振電力依存性周波数励振電力依存性CI励振電力依存性DLD不良１）晶片表面不良２）晶片表面污脏３）膜強度不足8)溅点（Ni)４）蒸着膜厚不良７）異物付着６）支架表面污脏５）接着剤不良９）内部雰囲気①研磨不良（作业员不同、研磨剤不良等等）②腐蚀斑、腐蚀不足、残留应力这些层次残留水晶片①洗浄液残渣（氟酸、HNO3等等）晶片上不能有洗净液残留物水晶片①蒸着真空度不良?存在水分蒸着膜水分膜下存在水分,造成和水晶片之间的密着性低下水晶片水晶片蒸着膜①蒸着膜厚不平均?遮蔽板不備等等膜薄导致導通性变不良①银的填充变少、導通性变差酸化、污脏等等会使導通性变差①支架長期保管的状态会造成酸化、污脏等等①工程内治具管理、清掃管理不備有异物付着,会使振动困难.特别是、銀、Ni,铝、焊料等等金属異物的影响特别大①封止、溶接工程的管理不備溅点NiNi?電極平行度不良?电压高?材料変形等等キャン①溶接時氮气置換不良、在空气中放置时间过长水分、酸化等不良影响異物正常品DLD不良品電位分布＝CI的大小変位矢量＝振動的大小因为异物的原因,变位矢量会变小,電位分布下降,CI増大CIF正常品DLD不良品FDLCIDL*