第6章+电容式传感器(改).pptVIP

第6章电容式传感器???????电容式传感器概述???????电容式传感器概述??????电容式传感器概述6.1电容式传感器的工作原理和结构电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。平板电容器的电容根据被测参数的变化分：变极距型电容传感器(d)变面积型电容传感器(A)变介质型电容传感器(ε)6.1.2变极距型电容传感器6.1.2变极距型电容传感器—基本特性6.1.2变极距型电容传感器—基本特性6.1.2变极距型电容传感器—灵敏度/非线性1.灵敏度（变极距型）2.非线性6.1.3变面积型电容传感器6.1.3变面积型电容传感器变面积型电容传感器的优点是:输出与输入成线性关系,但与变极距型相比,灵敏度低,适用于较大角位移量及直线位移的测量。6.1.4变介质型电容式传感器6.1.4变介质型电容式传感器柱式6.1.4变介质型电容式传感器平板式小结电容传感器的等效电路(补充)低频等效电路传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略等效电容Ce=C0+Cp，等效电阻Re≈Rg高频等效电路电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略，其中Ce=C0+Cp，而re≈r电容传感器的等效电路(补充)6.2电容式传感器的测量电路电容传感器的特点：电容量小、变化更小