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- 2024-05-30 发布于四川
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- | 2024-04-25 颁布
- | 2024-11-01 实施
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ICS29.045
CCSN83GB
中华人民共和国国家标准
GB/T43885-2024
碳化硅外延片
Siliconcarbideepitaxialwafers
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局电古
国家标准化管理委员会"-"-.,,,
CB/I43885-2024
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目IJ~
本文件按照心B/TI.1-2020《标消化丁.作导则第l部分.标准化文件的统构和赳J在规则u的规定
起草:.
i;f注,总本文件的某些内容可能涉放专利.本文仰的发布机构不y民挺!识别专利的资任.
本文件rh全同半导体设备刷材料标准化技术委员会CSAC/I℃203)与全间半导体设备刷材料标准
化技术委员会材料分会<SAC/TC203/SC2>共同击le:I;并归口.
本文件起J:i.1y1位,I的,r,r、国且星电子有阪公司、广东天城半导体股份有限公司、七海天隔半导体材料有
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(天lit)有限公司、知·色金属技术经济研究院有'lll~JH任公司、南京磁鑫半导体材料街限公司、111j1可烁科/;A
体有限公司、河北-1兴电子科技股份有限公司、安徽长巳先进半导体有限公司、巾电化合物半导体有限
公口i、上海合,白磁材料股份有限公司、rt:$华兴激光科技有限公司、杭州屹品半导体有限公百l、湖南=安
斗i号,你有限责任公司、浙江品:;ti缸子科技有限公司、宁波合组挂新材料有限公司、沈阳县Y6技术陶瓷有限
公,iJ、深圳|稳木半导·体有限公司、海Jill科{南)ill)光也科技有限公司、哈尔浪秘友半导体产业装备与技术
研究院有限公司、连抖半导体有限公司.
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汪之漏、黄!ml金、赵丽丽、胡动力、和l巍巍。
I
Cll/T43885-2024
碳化硅外延片
1范围
本文件规定n费化磁外延片的产品分类、技术要求、试价方法、检扮规则必栋志、包装、运输与贮存、
随行文件利的货单内容.
本文件适用于在导咆型碳化硅衬底上.~t长6在·化Iii£同质外延层的外延J-l·,产品用于创作碳化磁电力
电子梅竹.
2规范性引用文件
F1•J文件’f’的内容.iJD过文巾的舰也训,11用而构成本文件必不af少的条款.其中.注日期的51用文
件,仅该自jgJ.xt应的版本适JIJ于本文件;不注目期的号|川文件.其极新版本{包括所有的修改!Jl.)适川卡
尔文{斗.
GB/T2828.1-2012i·I·数仙桥检验程序第1部分:按接收质:@:限CAQL)检索的运批检验抽样
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