介电薄膜材料的制备与性能研究;介电薄膜制备技术概述
溅射沉积法工艺参数优化
原子层沉积法生长机理研究
化学气相沉积法薄膜性能分析
溶胶-凝胶法介电常数调控
旋涂法薄膜厚度均匀性研究
物理气相沉积法界面特性表征
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