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本发明提供一种降低半球谐振子端面崩边的超精密磨削加工方法，涉及超精密加工技术领域，为解决在半球谐振子唇缘倒角加工过程中，易出现无法完全去除倒角区域的亚表面损伤，或者产生崩边的问题。本发明在半球谐振子的超精密磨削加工的倒角处理过程中，包括根据半球谐振子唇缘倒角在超精密磨削过程中的总磨削深度d和半球谐振子毛胚亚表面损伤深度SSD对砂轮球心轨迹的修正过程，若d
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118081602A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410355681.7B24B55/04(2006.01)
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