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氮化镓〔GaN〕基半导体材料及器件

一、工程背景资料介绍

1、第三代半导体氮化镓〔GaN〕晶体

当今世界，被誉为IT产业发动机的半导体产业已诞生了以氮化镓〔GaN〕及其合金材料为代表的第三代材料，第一代和其次代半导体分别以硅和砷化镓为代表，而第三代半导体则以氮化镓〔GaN〕及其合金材料为代表。国内外都对该领域投入了大量的争论，美国和日本现已把握生产纯蓝和纯绿光的氮化镓〔GaN〕基材料的生长工艺。我国已在试验室生产出氮化镓〔GaN〕基蓝色发光材料，目前正在进展产业化生产方面的争论。

2、氮化镓〔GaN〕基材料特点

以氮化镓〔GaN〕基材料为代表的III-V族宽带隙化合物半导体材料，内