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1
ICSCCS
77.150.50H64
YS
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1683—2024
磁记录用铬钛合金溅射靶材
Chromiumtitaniumsputteringalloytargetusedinmagneticrecording
2024-03-29发布2024-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
1I
YS/T1683—2024
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本文件起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波热等静压技术有限公司。
本文件主要起草人:姚力军、吴东青、廖培君、杨慧珍、王学泽、刘晓、周友平、曹欢欢、边逸军、宋琦、汤婷、袁海军、干科军、许兴、黄引驰、陈玉蓉、时晓旭。
1
YS/T1683—2024
磁记录用铬钛合金溅射靶材
1范围
本文件规定了磁记录用铬钛合金溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钛合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定
GB/T4702.6—2016金属铬铁、铝、硅和铜含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T6394金属平均晶粒度测定方法
GB/T8651金属板材超声板波探伤方法
GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级YS/T891高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
4.1化学成分
产品的化学成分应符合表1的规定。
表1化学成分
%
牌号
Cr90Ti10
Cr80Ti20
Cr55Ti45
Cr50Ti50
Cr40Ti60
Cr含量(质量分数)
89.78~91.66
80.34~82.24
56.05~58.03
51.07~53.07
40.99~43.02
Ti含量(质量分数)
8.34~10.22
17.76~19.66
41.97~43.95
46.93~48.93
56.98~59.01
Cr+Ti含量(质量分数)不小于
99.9
杂质元素含量
(质量分数)×10
不大于
C
150
N
100
150
O
1000
1900
2400
3000
S
40
Ni
100
Fe
500
Si
100
Al
70
Na
50
W
100
Ca
30
Zr
80
V
100
Cr含量为Cr+Ti含量减去Ti含量的余量。
Cr+Ti含量为100%减去杂质元素含量(C、N、O、S除外)实测总和的余量。
2
YS/T1683—
20244.2晶粒
尺寸产品的晶粒尺寸平均值不大于45μm,最大值不大于120μm。4.3相对密度
产品的相对密度应不小于98%。4.4内部质量
产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时,由供需双方协商确定,并在订货单中注明。
4.5外形尺寸
产品通常为圆形,尺寸规格及结构方式一般由需方提供图纸,经双方确认后,方可生产。产品溅射
面的平面度应小于0.1mm。4.6表面粗糙度
产品表面粗糙度应符合图纸要求,图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。
4.7外观质量
产品表面应清洁光滑,无指痕、油污和锈蚀,无颗粒附加物和其他沾污,无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。
5试验方法
5.1Ti含量的测定按照附录A的规定进行或由供需双方协商确定;C含量的测定按照GB/T4698.14的规定进行;O和N含量的测定按照GB/T4698.7的规定进行;S
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