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Cleanroom简介.2.8
Contents2.洁净室合用行业1.洁净室的定义3.洁净室构造4.洁净工程有关流程
控制环境中的温度，湿度，气流，洁净度及正压的密闭空间。防止渗透:防止灰尘和微生物渗透到室内防止产尘:防止室内产生灰尘或微生物防止堆积:防止室内积灰尘或微生物迅速清除:迅速清除室内灰尘和微生物定义洁净室四大原则1.洁净室的定义1/35
洁净度Class100?0.1?是什么?※过去美国FED-209洁净度原则以0.5?粒子数量为基准0.1?一根头发(50~100?)10?可視最小粒子的大小1.洁净室的定义洁净度2/35
C/R合用行业及洁净度ICR(IndustrialsCleanRoom)SemiconductFPD(LCD/OLED/PDP)PCBBack-LightUnitElec.MaterialClass:1~100Class:10~1,000Class:100~1,000Class:100~10,000Class:100~10,000BCR(BioCleanRoom)MedicineGoodManufacturePracticeGoodLaboratoryPracticeBio-HazardOP-RoomClass:1,000~10,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:100~10,0002.洁净室合用行业3/35
土建/内装重要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事例-PDPHVACUtility电气B.C.R工程事例-GMP环境3.洁净室构造4/35
土建/内装工程CleanRoomUpperPlenumUnderPlenumCleanRoom洁净室UpperPlenum上夹层UnderPlenum下夹层SystemCeiling吊顶系统AccessFloor高架地板SystemCeilingAccessFloorReturnPlenum回风夹道CleanRoom构造施工次序涂装吊顶系统AccessFloor安装FFU内装地面环氧柱子环氧格构梁环氧隔断一次螺栓二次螺栓安装盲板安装基础有空板宽孔板安装过滤器安装FFU3.洁净室构造5/35
土建/内装工程SystemCeilingAccessFloorFFU方式?用个别FFU循环洁净室空气DFU方式?运用夹层的正压循环空气SystemCeiling合用方式有孔板?空气从洁净室地板通过无孔板?空气无法通过宽孔板?更衣室地板钢护板?中低重量的设备搬入时使用地板类型特性有需要的部分刷防静电涂料防止产尘防止化学药物污染其表面轻易打扫在钢板上刷防静电涂料，防止粉尘附着素材轻便，轻易变更lay-out改善气流特性内装涂装3.洁净室构造6/35
HVAC工程CleanRoom空调ConceptFFUO.A.C:正压/湿度/过滤D/C:温度(生产设备散热作用)F.F.U:循环风量/过滤??生产设备O.A.CEFUFFUClass管理基准DryCoilFFU是可以自由安装在吊顶上的规格化的系统，合用于高洁净度的产线。将室内设备发生的热量用盘管内冷水来冷却、热互换并维持室内温度，多用于高洁净度、高热量设备较多的洁净室。3.洁净室构造7/35
HVAC工程AirShowerBlowerFilterUnit进入洁净间之前用高速洁净空气喷淋掉附着在衣物表面的粉尘或微生物Unit内有小型blower，有与风管连接型和自循环型。(CLASS1,000如下~)PassBox安装在洁净室墙体上，控制材料或产品进出时发生的污染。CleanUnit安装高效过滤器和风机的袋型设备，一般常用在室内安装空间小且中等洁净度的产线。3.洁净室构造8/35
动力工程①一次配System+MainPipingDuct+Sub-mainTappingValve(Damper)Sub-mai
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