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高纯氟化铵溶液

1范围

本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志和随行文件、包装、运

输、贮存。

本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀

刻等行业。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB/T191—2008包装储运图示标志

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682－2008分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T23769－2009无机化工产品水溶液中pH值测定通用方法

GB/T23770－2009液体无机化工产品色度测定通用方法

HG/T3696.1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定溶

液的制备

HG/T3696.2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶

液的制备

HG/T3696.3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制品

的制备

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分子式和相对分子质量

分子式：NHF

4

相对分子质量：37.04（按2022年国际相对原子质量）

1

5分级

高纯氟化铵溶液按用途分为3个等级：

a)EL级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件等的制造；

b)UP级：主要用于线宽为0.8μm～1.2μm集成电路的清洗与蚀刻；

c)UP-S级：主要用于线宽为0.2μm以上集成电路的清洗与蚀刻；

d)UP-SS级：主要用于线宽为0.09μm～0.2μm集成电路的清洗与蚀刻；

e)UP-SSS级：主要用于线宽小于0.09μm集成电路的清洗与蚀刻。

6要求

6.1外观：无色透明液体。

6.2高纯氟化铵溶液按本标准规定的试验方法检测应符合表1的要求。

表1

指标

项目

EL级UP级UP-S级UP-SS级UP-SSS级

NHFw/%40.01.0

氟化铵（）±

4

[(NH)SiF]/mg/kg——1051

氟硅酸铵426（）≤

色度/Hazen≤101010105

pH（10g/L溶液，25℃）6.0～7.5

Cl/mg/kg550.20.050.01

氯化物（以计）（）≤