MEMS传感器的应用走势及提高精度的方法探讨.pdfVIP

IIoT技术专题工业物联网

MEMS传感器的应用走势及提高

精度的方法探讨

ApplicationtrendsofMEMSsensorsandmethodsofimprovingaccuracy

作者/王莹《电子产品世界》编辑

摘要：近日，ST(意法半导体)大中华暨南亚区模拟和MEMS产品部市场总监吴卫东先生在京介绍了STMEMS

传感器的发展概况，提高传感器精度的方法，以及汽车、工业等市场对传感器的需求特点。

关键词：MEMS；传感器；精度；工业

DOI:10.3969/j.issn.1005-5517.2017.10.003

车非安全性应用MEMS厂商如图1在研发投入和

ST做了20年的MEMS传感器

在MEMS传感器方面ST已经做了20年至今出研发热情的具体表现方面2016年ST市场份额同比增

货130亿片MEMS传感器随着制程和调校的改进下长20%非安全应用主要包括导航和信息娱乐系统等

需要用到加速度传感器和陀螺仪如图2

一步希望从消费类更多地扩展到汽车和工业应用ST特

点是提供传感器和致动器(Actuator)有经过市场检验

的制造技术拥有大规模制造能力有多传感器集成能新应用需要精度更高

力集成了市场领先的智能功能等高性能取决于应用的需求汽车应用里汽车导航

就像阴阳八卦一样传感器的应用也在周而复始通常采用GPSMEMS惯性传感器作为辅助测量以覆

地轮回MEMS传感器起始于汽车和工业但这十年真盖GPS的盲区(如图3)因此MEMS传感器就要有高精

度通常整个系统的精度要达到米级这个米级并

正推波助澜并使MEMS普及的是消费类电子如今

MEMS的下一波浪潮有望重回汽车和工业不是一个时间点是累积的因为传感器的挑战是参数

据IHS2017年上半年市场报告ST是世界第一大汽会随着温度和时间等漂移自动驾驶对精度的要求更

高目前客户要求精度要在20厘米以内(如图4)

虚拟增强实境的感测精度约在10厘米以内在VR

领域从Android5.0开始规定了传感器的参数规格

甚至要对传感器做认证可见传感器起着至关重要的作

用

此外手机光学防抖的误差是10厘米以内是针对

画面之间的偏差工业上的压力监测要控制在10厘米以

内温湿度检测希望达到0.5℃以内精度3%以内

图12016年汽车非安全应用市场份额

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