微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法 .docx

GB/TXXXXX—XXXX

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微束分析分析电子显微术

电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

1范围

本文件描述了配备电子能量损失谱仪（EELS）的扫描透射电子显微镜或透射电子显微镜中能量分辨率的测定程序。

本文件适用于镜筒内置型的EELS谱仪和镜筒后置型的EELS谱仪，包括采用并行检测系统和串行检测系统的谱仪。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T22571表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺的校准GB/T40300-2021微束分析分析电子显微学术语

3术语和定义

GB/T40300—2021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

束直径beamdiameter

STEM观察时电子束强度曲线的半高宽（FWHM）。

3.2

伯尔施效应Boerscheffect

由于电子束中电子之间的库仑相互作用（3.5）造成的电子束能量分散。

3.3

通道channel

在并行检测EELS的检测器上一个像素的范围。

3.4

收集角collectionangle

STEM或TEM衍射模式下，EELS入口光阑直径除以相机长度和几何因子的值；或者