电子元器件 半导体器件长期贮存 第7部分：微电子机械器件 编制说明.pdf

《电子元器件半导体器件长期贮存

第7部分：微电子机械器件》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、任务来源

《电子元器件半导体器件长期贮存第7部分：微电子机械器件》标准制定是

2023年第四批推荐性国家标准计划项目，计划项目批准文号：国标委发【2023】

63号，计划编号T-339。由中华人民共和国工业和信息化部提出，全

国半导体器件标准化技术委员会（SAC/TC78）归口，主要承办单位为中电国基北

方有限公司，副主办单位为河北北芯半导体科技有限公司，天津大学，北京智芯

微电子科技有限公司，工业和信息化部电子第五研究所，河北圣昊光电科技有限

公司，项目周期16个月。

2、制定背景

电子元器件-半导体器件的长期贮存系列标准是对半导体器件进行长期贮存

试验的依据。本标准是该系列标准的第7部分，适用于微电子机械器件产品长期

贮存时需要的注意事项及基本要求,旨在为长期或长期计划贮存微电子机械器件

的方法提供实用指南。本文件中提出的方法的应用无法保证所贮存的元器件在其

贮存结束时仍处于理想的工作状态，仅包含将潜在和可能的降解因子降至最低的

方法。

本标准的制定，是形成完整的电子元器件-半导体器件长期贮存系列标准的

重要环节，是评价和考核常用半导体器件长期贮存的重要依据。

3、工作过程

1）成立标准编制组

2024.01~2024.02牵头单位广泛征集参编单位，成立了编制组。编制组成员

包括管理者、长期从事微电子机械器件领域的研究、设计、制作和测试人员，半

导体器件检验及可靠性试验人员，以及具有多年国标编制经验的标准化专家。编

制组成员明确了职责和时间进度要求，制定了详细的工作计划，并开始收集相关

的标准和资料。

2）编写工作组讨论稿

2023.03~2024.04编制组成员对等同采用的IEC标准进行翻译、研究、分析和

比较，对相关领域的论文、产品手册等资料进行了收集、整理和分析，编写工作

组讨论稿。

3）编写征求意见稿

2024.05～2024.06编制组成员内部进行讨论，对工作组讨论稿进行了修改和

完善，并结合编制组的实际工作经验，形成了标准的征求意见稿，并编写编制说

明。

3标准编制的主要成员单位及其所做的工作

本标准主要承办单位为中电国基北方有限公司，副主办单位河北北芯半导体

科技有限公司，天津大学，北京智芯微电子科技有限公司，工业和信息化部电子

第五研究所，河北圣昊光电科技有限公司。在标准编制中，中电国基北方有限公

司、河北北芯半导体科技有限公司主要负责标准的翻译、制定、试验技术及验证

工作、文本及格式的校对工作，天津大学，北京智芯微电子科技有限公司，工业

和信息化部电子第五研究所，河北圣昊光电科技有限公司等负责部分标准的翻译

及试验验证，以及文本及格式的校对工作。

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据

1、编制原则

本标准为电子元器件半导体器件长期贮存系列标准的第7部分，属于基础标

准。为保证半导体器件的长期贮存与国际标准一致，实现微电子机械器件的长期

贮存与国际接轨，本标准等同采用IEC62435-7：2020《电子元器件半导体器件

长期贮存第7部分：微电子机械器件》。

本标准按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构

和起草规则》、GB/T1.2—2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化

文件为基础的标准化文件起草规则》的规定起草。除编辑性修改外，本标准的结

构和内容与IEC62435-7：2020保持一致。

2、主要内容及其确定依据

在目前的市场环境中，微电子机械器件在生产完成后，相当一部分不会被立

刻投入使用，因此如何保障经过长期贮存后器件的机械完整性和电气性能，是需

要考虑的关键因素。

本标准主要技术内容包含长期贮存微电子机械器件相关的范围、规范性引用

文件、术语和定义、贮存注意事项和长期贮存基本要求等内容。贮存注意事项包

括微电子机械器件应用概述、失效机理、原材料管理、贮存介质、文件/纸张批

标识符、库存检查、库存干燥包装的更新、库存重新评估等。长期贮存基本要求

包括概述、潮湿敏感标识、干燥包装、非潮湿敏感电子元器件的贮存、微电子机

械器件装配前的贮存——晶圆级和芯片级贮存、潮湿敏感涂覆元器件的贮存等。

本标准等同采用IEC62435-