热式流速传感器调研报告.docxVIP

大学物理课论文

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鉴于热式流速传感器普遍具有精度高（0.1mm/s）、反应迅速（1.5ms）、结构简单紧凑且无运动部件、抗振动、耐高温、体积小（mm量级）、重量轻、可高度集成化IC、CMOS、MEMS工艺可用等优点，现已被广泛应用到上述应用中，同时也成为了各国研究人员研究的热点。

本文将详细介绍以上三种热式流速传感器的原理、结构、性能、制造工艺、发展历程与未来趋势，同时对目前热式传感器存在的问题开展简单的讨论。

流体的一些特性

流体的粘滞性与边界层效应

当液体处在运动状态时，若液体质点之间存在着相对运动，则质点间要产生内摩擦力抵抗其相对运动，这种性质称为液体的粘滞性。[30]

通常用流体速度相同的层与层之间的切应力大小来描述流体的粘滞力大小，如下切应力（粘滞力）公式：

其中，η为随流体种类不同而不同的比例系数，称为动力粘度。两流层间流速增加与其距离的比值又称为流速梯度。

图1-1（层流绕无攻角壁面流动时的流速分布）

粘滞力普遍存在于常规流体中。由于流体的这种粘滞性，可以解释上图现象，即紧贴固体壁面的流体流速为零，其他流层的流速随着该层流体距离固体壁面法向距离的增大而增大，最终恢复到自由来流的流速大小。

边界层是高雷诺数绕流中紧贴物面的

粘性力不可忽略的流动薄层，通常认为是从壁面开始，沿法线方向至速度与自由流速度U相等（严格地说是等于0.990U或0.995U）的位置之间的流层，边界层又称流动边界层、附面层。

雷诺数、层流与湍流

1883年，雷诺（Reynolds）曾用试验揭示了实际液体运动存在的两种型态即层流和湍流（也称紊流）的不同本质。

图1-2（雷诺实验装置）

图1-3（雷诺实验结果区分层流与湍流）

雷诺实验的结果，发现临界流速与液体的密度，动力粘度及管径都有密切关系，并提出液体型态可用下列量纲一的数来判断：

Re即为雷诺数。运动粘度。

判断流体型态，以下临界雷诺数Recr为标准：实际雷诺数大于下临界雷诺数时就是湍流，小于下临界雷诺数时一定是层流（下临界雷诺数Recr为流体从湍流转变为层流临界点处的雷诺数，与之对应的上临界雷诺数Recr’则是流体从层流转变为湍流临界点处的雷诺数，通常Recr’Recr且Recr’极不稳定）。[30]

图1-4（不同雷诺数下流体中圆柱体尾流的湍流型态）

湍流的基本特征是许许多多大小不等的涡体相互混掺着前进，它们的位置、型态、流速都在时刻不断地变化着[30]。

图1-5（相同雷诺数，不同攻角下的翼面湍流）

由于湍流广泛存在于各种流体中，对工程设计与实践都有不可忽略的巨大影响，同时湍流又具有极大的不确定性，给相关的数学建模与数学分析带来了很大的困难，因此对湍流的研究一直是流体力学领域中的重点和难点，人们一直在探寻一种能够全面描述湍流现象的流体力学模型，而在其中热式传感器发挥了不可忽视的重要作用。

热式流速传感器的发展

20世纪初期，英国人首先完成了热线用于流场测量的原理性实验，随后McGill大学的L.V.King提出了无限长线和流体之间的热对流理论，他研究了热线散失的热量Qd与流体速度v，以及热线与流体之间的温度差△T=(Tw-Tf)（通常为20℃到80℃）几个量之间的关系，给出了具体的表达式

式中ρ为流体密度，A、B为特定系数，它们实际上反映了热线式风速传感器本身的热学特性和被测流体热学特性的影响，在传感器的设计过程中需要通过对传感器原型进行标准流速实验来测定A、B的值。因为热线的发热功率为，根据基本的能量守恒定律可知，最终可以得到热线测流速的原理方程：

King表达式被大家普遍采纳，从此多国研究人员开始对热线进行实验性研究[4]。

最早发明的热式气体质量流量传感器是热线式气体流量传感器，利用放在流场中具有加热电流的细金属丝与流体发生强迫对流冷却来测量流体的流速、流量，因具有连续测量的特点使其在很长一段时间内具有难以替代的优势。

图2-1（热线式探头的核心是红圈内的超细金属丝）

但由于热线式气体流量传感器受多个参量的影响，存在着交叉灵敏度，这影响它的稳定性以及灵敏度，同时热线式传感器测量的流量与其输出电信号的对应关系是非线性的，要进行补偿。

到了近几十年，由于电子技术的飞速发展，各种补偿技术不断提高，使热线式流量传感器的精度大大提高，测量范围扩大，目前已在低速、亚声速、跨声速和低超声速流场测量中得到了广泛应用。虽然如此，热线式传感器仍旧存在许多问题，首先热线的一致性很差，难以进行批量生产；其次，当测低速流体时，热紊乱很大，严重影响其低速测量精度；热线的抗污染腐蚀能力差，价格高，易损坏；利用热线测量流速时会有较大的电子噪声，导致它的相应速度下降等等的因素限制了它的进一步发展。

为克服热线探头以上的种种缺陷，Ling等人于1956年引入了热膜探