- 1、本文档共9页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN101130855A
(43)申请公布日2008.02.27
(21)申请号CN200710072701.6
(22)申请日2007.08.24
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
(72)发明人田修波杨士勤
(74)专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人王吉东
(51)Int.CI
C23C14/00
C23C14/48
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
射频天线耦合细长管内表面离子注
入表面改性方法
(57)摘要
射频天线耦合细长管内表面离子注
入表面改性方法,本发明涉及细长管的内
表面离子注入表面改性方法。它克服了已
有技术在管筒与射频天线之间设置网状金
属地电极的结构所带来该技术不能应用于
管筒直径细情况的缺陷。它包括下述步
骤:需要表面改性的管筒置于密闭容器内
并把管筒接地,射频天线的一端插入密闭
容器内并且位于管筒内的中心线处;通过
射频天线向管筒内间歇性发射射频电磁
波,管筒内的气体发生电离,从而在管筒
内产生等离子体;在射频电磁波的发射间
歇期间给射频天线通以正高压脉冲,射频
天线与接地的管筒间形成高压电场,管筒
内的正离子受到高压电场的作用,飞向管
筒内壁、完成离子注入。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特征在于它包括下述步骤:
一、需要表面改性的管筒(1)置于密闭容器(2)内并把管筒(1)接地,射频天线(3)的一
端插入密闭容器(2)内并且位于管筒(1)内的中心线处;二、通过射频天线(3)向管筒
(1)内间歇性发射射频电磁波,管筒(1)内的气体发生电离,从而在管筒(1)内产生等
离子体;三、在射频电磁波的发射间歇期间给射频天线(3)通以正高压脉冲,射频
天线(3)与接地的管筒(1)间形成高压电场,管筒(1)内的正离子受到高压电场的作用,
飞向管筒(1)内壁、完成离子注入。
2.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于密闭容器(2)内填充氧气、氮气或氩气作为发生电离的气体。
3.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于步骤二和步骤三的进行过程中,管筒(1)处于绕自身轴心线转动的状态。
4.根据权利要求3所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于使管筒1旋转的管筒旋转装置包括电机(11)、联轴器(9)、小齿轮(7)、大齿轮
(14)、套体(15)、止推轴承(12)和支架(13),电机(11)的轴通过联轴器(9)固定在小齿
轮(7)的齿轮轴(8)上,齿轮轴(8)为绝缘材料,小齿轮(7)与大齿轮(14)相啮合,大齿
轮(14)的齿圈套在套体(15)的外圆表面上且与其固定,套体(15)固定在管筒(1)下端
的外圆表面上,套体(15)通过止推轴承(12)座落在支架(13)上。
5.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法密闭容器(2)内充入甲烷
或乙炔气体。
6.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于管筒(1)采用Cr、Ti、Fe、Cu或Zr作为阴极材料,密闭容器(2)内填充氩气。
7.根据权利要求5所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于密闭容器(2)内填充甲烷、氧气、氮气或乙炔。
8.根据权利要求1所述的射频天线耦合细长管内表面离子注入表面改性方法,其特
征在于射频天线(3)的另一端连接有高压脉冲电路(4)和射频电路(5),高压脉冲电路
(4)由高压脉冲电
文档评论(0)