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金刚石膜-声表面波器件(SAW)项目调研分析报告
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金刚石膜-声表面波器件(SAW)项目调研分析报告
目录
TOC\h\z12175前言 4
27678一、工艺技术 4
17982(一)、原辅材料采购及管理 4
17129(二)、技术管理特点 6
15476(三)、项目工艺技术设计方案 7
3874(四)、设备选型方案 9
28503二、金刚石膜-声表面波器件(SAW)项目选址可行性分析 10
17254(一)、金刚石膜-声表面波器件(SAW)项目选址 10
12511(二)、用地控制指标 11
5236(三)、节约
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