激光加工LED衬底的系统及方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102658424A

(43)申请公布日2012.09.12

(21)申请号CN201210160695.0

(22)申请日2012.05.18

(71)申请人杭州士兰明芯科技有限公司

地址310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区(下沙)10号路300号

(72)发明人高耀辉张昊翔金豫浙封飞飞万远涛李东昇江忠永

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司

代理人陆嘉

(51)Int.CI

B23K26/04

B23K26/06

B23K26/40

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

激光加工LED衬底的系统及方法

(57)摘要

本发明提供了一种激光加工LED

衬底的系统及方法，该系统包括：飞秒脉

冲种子激光源；激光放大扩束装置，对所

述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激

光进行能量放大、扩束和线聚焦，输出线

状光斑，所述线状光斑的长度大于等于

LED衬底的直径；承载部件，用于承载所

述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述

LED衬底内或其表面上。本发明能够采用

飞秒激光对LED衬底进行加工，有利于整

合减薄和划片工艺，提高生产效率，降低

生产成本。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种激光加工LED衬底的系统，其特征在于，包括：

飞秒脉冲种子激光源；

激光放大扩束装置，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、

扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；

承载部件，用于承载所述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底内或其表

面上。

2.根据权利要求1所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，所述激光放大

扩束装置包括：

激光放大器，对所述飞秒脉冲激光进行能量放大；

扩束透镜组合装置，对来自所述激光放大器的激光束进行扩束，使其尺寸覆盖所述

LED衬底；

柱透镜，对来自所述扩束透镜组合装置的激光束进行线聚焦，输出所述线状光斑。

3.根据权利要求2所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，所述激光放大

器将所述飞秒脉冲激光放大为mJ~J量级的激光束。

4.根据权利要求2所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，所述激光放大

扩束装置还包括：

光闸，所述激光放大器输出的激光束经过所述光闸后传输至所述扩束透镜组合装置。

5.根据权利要求4所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，还包括：

步进电机，驱动所述承载部件带动所述LED衬底沿垂直于所述线状光斑的方向移

动，所述LED衬底在垂直于所述线状光斑的方向上划分为多步，所述步进电机带

动所述LED衬底逐步移动以使所述线状光斑逐步扫描所述LED衬底。

6.根据权利要求5所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，还包括：

同步控制器，对所述步进电机和光闸进行同步控制，使所述步进电机每移动一步后

照射至所述LED衬底上的激光脉冲数目相同。

7.根据权利要求2所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，所述扩束透镜

组合装置包括第一圆形凸透镜和第二圆形凸透镜，来自所述激光放大器的激光束依

次透过所述第一圆形凸透镜和第二圆形凸透镜后出射，其中第一圆形凸透镜的焦距

小于第二圆形凸透镜的焦距，且所述第一圆形凸透镜和第二圆形凸透镜之间的距离

等于二者的焦距之和。

8.根据权利要求7所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，还包括：

调节机构，用于驱动所述柱透镜以及扩束透镜组合装置中的各凸透镜平移，平移的

方向沿来自所述激光放大器的激光束的传播方向。

9.根据权利要求2所述的激光加工LED衬底的系统，其特征在于，所述激光放大

器