原创力文档- 1、本文档共23页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN1731278A
(43)申请公布日2006.02.08
(21)申请号CN200510091072.2
(22)申请日2005.08.05
(71)申请人因芬尼昂技术股份公司
地址德国慕尼黑
(72)发明人S·施瓦兹S·沃尔姆
(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司
代理人程天正
(51)Int.CI
G03F1/14
G03F7/00
H01L21/027
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
极紫外线磁性对比光刻掩模及其制
法
(57)摘要
本发明提供了一种EUV光刻掩
模、其制造方法与其使用方法。本发明的
一较佳实施例包含了一衬底、配置在所述
衬底上的一布拉格反射器、配置在所述布
拉格反射器上的一缓冲层、以及配置在所
述缓冲层上的一吸收层；所述掩模中的材
料具有选择磁性质；在一较佳实施例中，
所述缓冲层是一硬磁材料，而所述吸收层
是一软磁材料。另一较佳实施例则包含了
一种掩模制造方法，其更包含一掩模步
骤。在一较佳实施例中，则利用电子镜显
微镜而显影出掩模在施加磁场中的磁性质
相关型态以检测所述掩模。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
未缴年费专利权终止IPC(主分
类):G03F1/14专利
2023-08-11号:ZL2005100910722申请专利权的终止
日权公告
日
权利要求说明书
1.一种光刻掩模，其包含：
一衬底；
一布拉格反射器，其配置在所述衬底上；
一缓冲层，其配置在所述布拉格反射器上；以及
一吸收层，其配置在所述缓冲层上，其中所述布拉格反射器，所述缓冲层，所述吸
收层与盖层至少其一是一种磁性材料，以增加检测对比度。
2.如权利要求1所述的光刻掩模，其中所述磁性材料是一种硬磁材料。
3.如权利要求2所述的光刻掩模，其中所述硬磁材料是由包含CoFeNi，FeCoCr，
FeCoV，FeCrCo，AlNiCo，CuNiFe，MnAlCo，PtCo，NdFeCo与其组合所组成的
族群中选出。
4.如权利要求1所述的光刻掩模，其中所述磁性材料是一种软磁材料。
5.如权利要求4所述的光刻掩模，其中所述软磁材料是由包含Fe，Ni，Co，Gd，
Dy，Mn，MnBi，FeSi与其组合所组成的族群中选出。
6.如权利要求4所述的光刻掩模，其中所述软磁材料是一合金，所述合金是由包含
FeNi，FeCo，FeAl与其组合所组成的族群中选出。
7.如权利要求6所述的光刻掩模，其中所述FeNi合金包含了不低于20％的镍。
8.一种光刻掩模，其包含：
一衬底；
一布拉格反射器，其具有配置在所述衬底上的第一选择磁性质；
一缓冲层，其具有配置在所述布拉格反射器上的第二选择磁性质；
一吸收层，其具有配置在所述缓冲层上的第三选择磁性质。
9.如权利要求8所述的光刻掩模，其中所述布拉格反射器与所述缓冲层间具有一盖
层，所述盖层具有第四选择磁性质。
10.如权利要求9所述的光刻掩模，其中所述布拉格反射器，所述缓冲层，所述吸
收层与所述盖层中至少其一的所述选择磁性质增加了检测对比度。
11.如权利要求9所述的光刻掩模，其中所述布拉格反射器，所述缓冲层，所述吸
收层与所述盖层中至少其一的所述选择磁性质增加了电子显微镜的检测对比度。
12.如权利要求9所述的光刻掩模，其中所述布
文档评论（0）