半导体厂房简介.pdf

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01半导体产品应用

01半导体产业链

01国内市场及国产比例

01国内生产厂商

01国内生产厂商

02建厂规划概念

个人认为我们施工方面主要关注

制程规划,产能规划,时程规划

制程规划我们能知道厂内大概需

求多少系统,产能规划能知道大

概多少工程量,时程规划能知道

业主的重要时间节点,及时调试

人力计划。

02时程规划-主要节点

02制程规划-主要生产工艺

半导体生产主要经过氧化/扩散、沉积、

光刻、刻蚀、离子注入、CMP抛光、金

属化制程、检测,产品经过以上主要工

序多次反复,形成电路图形

半导体生产工艺线宽等级决定着产品的

先进性。

02制程规划-主要生产设备

03半导体厂房构成

0办公楼

1FAB厂房

22大宗气站

10

933动力站

11

84废水站

7

41

605成品库

6110KV变电室

5

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