一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102837369A

(43)申请公布日2012.12.26

(21)申请号CN201210346105.3

(22)申请日2012.09.18

(71)申请人广东工业大学

地址510006广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号

(72)发明人谢小柱魏昕胡伟黄福民

(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限公司

代理人林丽明

(51)Int.CI

B28D5/00

B23K26/36

B23K26/14

B23K26/42

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法

(57)摘要

本发明公开了一种绿激光划片蓝宝

石的工艺方法，有如下步骤：在蓝宝石基

片预先涂覆一层的水溶性覆层；在开始用

绿激光切割前设定绿激光光束入射角度、

焦点位置，设定同轴和侧向施加辅助气体

喷嘴位置及施加辅助气体的压力；采用绿

激光按一预定扫描速度和扫描次数扫描蓝

宝石基片的表面形成切槽，在上述过程中

同轴和侧向喷嘴同时施加辅助气体；再用

裂片的方法将蓝宝石分割成小片；本发明

采用激光辐照蓝宝石表面产生的光热耦合

作用，以蒸发、熔融等形式为主去除材

料，并伴有微小破碎材料去除，加工过程

中通过预先涂覆水溶性覆层，并同时在轴

向和侧向施加辅助气体来减少材料重凝和

裂纹的产生，从而获得精细切槽，加工效

率高，成本低。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于步骤如下：

1）在蓝宝石基片预先涂覆一层的水溶性覆层；

2）在开始用绿激光切割前设定绿激光光束入射角度、焦点位置，设定同轴和侧向

施加辅助气体喷嘴位置及施加辅助气体的压力；

3）采用绿激光按一预定扫描速度和扫描次数扫描蓝宝石基片的表面形成切槽，在

上述过程中同轴和侧向喷嘴同时施加辅助气体；

4）再用裂片的方法将蓝宝石分割成小片。

2.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤1）

中水溶性覆层的厚度为50～500μm。

3.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤2）

中绿激光为脉冲式绿激光，绿激光光束入射角为0～90sup0/sup，绿激光波长

λ为510～540nm，绿激光波脉宽大于等于20ns，绿激光频率为0.1～100kHz，绿

激光能量密度为1～200J/cmsup2/sup。

4.如权利要求3所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：所述绿激光光

束入射角是激光光束与蓝宝石基片表面法线方向的夹角。

5.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤2）

中绿激光的焦点位置在蓝宝石上表面以下0～200μm。

6.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：所述上述步骤

2）中喷嘴施加辅助气体的压力为0.1～0.4MPa。

7.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤3）

中绿激光扫描速度为0.1～50mm/s，绿激光扫描次数为1～10次。

8.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤3）

中绿激光划片过程中施加辅助气体为空气、氮气、氩气或氦气中的一种。

9.如权利要求1所述的绿激光划片蓝宝石的工艺方法，其特征在于：上述步骤3）

中所述绿激光划片过程中同轴喷嘴中心线和侧向喷嘴中心线的夹角为0～

90sup0/sup。

说明书

p技术领域

本发明涉及一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法。

b背景技术/b

蓝宝石单晶具有硬度高（莫氏硬度为9）、熔点高（2