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九州方股份有限公司晶作指

晶作示意

（一）拆炉取晶棒1.停炉6.5小后行漏并作，泄漏率4pa/10min，泄漏不合格机修修操作步：自停炉工下系会自漏需手漏，先关气，抽极限真空后在操作界面上按【工】按，出“工（返回）”界面，在此界面下按【漏】即可2.停炉6.5小后充气拆炉。将晶定2rpm，待晶下降到2rpm后再停止晶，禁止直接将晶零

穿戴好保防用品，真交接班，好拆炉工具。若炉子于状，打开充气充气至炉膛正。充气完成后，必晶棒完全提升到副室后方可打开副室注意：在“气真空”界面上正确置“快充自关力”大气，炉内力到正后充气将自关3.如果晶体不能完全入副室内，无法用安全托防，需在隔离室厚木板加以防，防晶棒掉下坏石墨件，并炉盖一起旋出来如果晶体可以入副室内，升起副室后用安全托防

4.按住控制柜上“拉伸腔提升”按，直到副室高出炉膛部，碰到中途上限位开关，可向左“拉伸腔旋”开关，自旋开副炉室。禁止手推副室旋注意：取晶棒注意不要碰到CCD器件5.在晶棒下方好存放架后，撤掉防木板或安全托，然后下降晶棒，禁使晶棒接触到存架。晶体离存放架底部有3-5mm距离，停下降，察触摸屏上示的晶棒重量，小心的下降晶棒，待晶棒重量低于5kg，停止下降晶棒。剪断晶前，一人扶住存放架，另一人用手（戴耐高温手套）抓住重（禁止抓籽晶）用斜口剪断晶，不能扭断！剪完晶后逐

6.是否完好可用。若有硬、毛刺或其他坏情况，立即更7.在晶生随工上填写相数据后，将晶棒放置于晶棒冷却区。将底料、提肩料等示好并妥善保存，下班前交物料

拆1.按住控制柜上“拉伸腔提升”按升起炉盖，直到拉伸腔上限位开关作松提升按,向左开炉盖至炉盖外旋限位开关。外旋限位开关没有将无法提升炉筒2.戴上口罩、耐高温手套，将流筒、保温盖取出冷却。将石英、底料取出，然后将三瓣、石墨托取出冷却。最后按住控制柜上“炉筒提升”按，将炉筒升起至超出向杆上端松开提升按，向右旋开炉筒。按“炉筒下降”按将主炉室降至离地面200mm

打炉内生1.拿石墨器件的候必戴上耐高温手套，使用吸管，要防止吸管被化在石件上2.清除取晶在隔离装置上的物和碎片3.所有石墨件必底打干。干的准是：容易取出的石墨部件：流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣、石墨托必打到全部露出石墨的本色，特是能留有黄色的物。不容易取出的石墨件加器、主保温筒、炉底等等，在大清

4.所有晶炉内壁打干，上排气尤其要加炉壁清。不能留有任何物。包括副室炉筒、籽晶及重、两个抽气口、CCD窗口、取光孔玻璃、主察窗及其防玻璃；金玻璃朝向炉内一禁止擦拭，否金会被坏。不小心擦拭的，立即更5.在行以上打，必要使用砂打磨。凡是砂打磨的地方，要将砂上掉下的金砂粒用吸管吸干

6.打开防爆，抽气管道中氧化物燃清除残余氧化物注意：打开防爆手和眼睛与防爆保持一定距离7.清除主抽气管道内的氧化物，最后用无沾酒精擦干炉内壁

装按序装好石墨件，上升或下降坩，使石墨坩部与加器平，在控制柜操作屏上校正坩零位。装行如下并整正常：1.加器石墨螺先松再，防止高温2.托杆与下接是否固、中3.确石墨托及三瓣是否完好可用，三瓣厚度小于5mm必更4.托杆与石墨托、石墨托与三瓣托之

5.主炉室“O”形圈的位置及清度，用无清“O”形圈及主炉室下法密封面6.按“炉筒提升”按使主炉室上升到高出加器上方，向套到准向杆位置，按“炉筒下降”按，直到主室平着落于底座上7.开2rpm，保温罩、石墨坩与加器同心度，小心保温罩位置到开口准取光孔，确保温罩与加器良好，无短路象8.除上下保温盖及流筒以外的所有石墨件

（二）装炉装炉前1.仔察看上炉生，确运正常，完好2.滑部件是否正常3.向定位部件是否安装牢固，炉室提升是否固4.确供正常5.各冷却水路是否通，水温、水、流量是否正常

6.若上一炉生程不正常，真分析原因，采取有效措施后方可开炉7.准好一次性乳胶手套、白手套、裁刀口罩、装料等助用品8.所原料及母合金与生指令、随工是否相符9.用擦炉沾酒精把装料擦干10.把原料及母合金放置到装料上

和安装石英坩1.打开石英坩包装，戴好乳胶手套把准光源石英坩磕碰（位于坩上沿的微小碰除外）n裂、重划痕直径≥3mm的气泡，数量≥1个nn直径3mm的气泡，数量≥3个n度尺寸≥3mm的黑点，数量≥1个n度尺寸3mm的黑点，数量≥3个n度尺寸3mm的气泡、黑点，合数量≥个n

2.将石英坩放入石墨坩内，不能有任何磕碰生，尽量安装水平3.装坩要防止将坩外壁的石英渣子入中4.若石英坩异常及与班或技主管、主任系，判断不能使用后，行更5.装完坩后，另乳胶手套，行装料

装料1.用裁刀把原料包装袋划开2.首先小（直径小于20mm）的料放到底，尽量坩底部3.放入母合金4.自然堆砌大料、中料，尽量