SU8010简易使用手册(五轴全自动马达台用).docx

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HitachiSU8010SEM简易使用手册

〔五轴全自动马达台用〕

一、预备工作

通过前面板观看确认IP12×10-7,IP22×10-6,IP35×10-5;“APTHEAT”开关位于“AUTO”档。

二、开机

翻开循环水。

翻开显示单元“DISPLAY”开关。

电脑启动后,依据提示,按“Ctrl+Alt+Delete”,口令为空,进入系统;口令为空,进入程序。

三、放置样品

严格依据标准制备样品,使用样品规限定样品台高度。确保样品的最高点和高度规的下边缘准确齐平,并确认样品台与调整螺杆、紧固盘片与样品台座上紧。

点击操作面板上“HOME”键,绿色显示条停顿闪耀后,样品台回归交换

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