传感器与检测技术-3.ppt

[基本知识与技能]霍尔传感器的认识霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。1948年以后，随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，是目前应用最为广泛的一种磁电式传感器。霍尔传感器广泛用于检测磁场、压力、加速度、转速、流量，也可以制作高斯计、电流表、接近开关等。图4-21霍尔传感器的外形图。3.3.1霍尔元件的工作原理1.霍尔效应金属或半导体薄片置于磁感应强度为B的磁场中，磁场方向垂直于薄片，当有电流I流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势EH，这种现象称为霍尔效应。UH=3.3.1霍尔元件的工作原理2.霍尔元件的结构(a)符号(b)基本电路3.3.2霍尔元件的测量电路1.基本电路控制电流IC由电源E提供，R是调节电阻，用以根据要求改变IC的大小。霍尔电势输出端的负载电阻RL，可以是放大器的输入电阻或表头电阻等。所施加的外磁场B一般与霍尔元件的平面垂直。3.3.2霍尔元件的测量电路2.霍尔元件的误差及其补偿（1）霍尔元件温度误差及其补偿霍尔元件是采用半导体材料制成的，因此它们的许多参数都具有较大的温度系数。当温度变化时，霍尔元件的载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数都将发生变化，从而使霍尔元件产生温度误差。为了减小霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件或采用恒温措施外，还可以采用适当的补偿电路。3.3.2霍尔元件的测量电路2.霍尔元件的误差及其补偿（2）不等位电势及其补偿不等位电势是霍尔零位误差中最主要的一种。不等位电势的产生是由于工艺没有将两个霍尔电极对称地焊在霍尔片的两侧，致使两电极点不能完全位于同一等位面上。此外霍尔片的电阻率不均匀和厚薄不均匀或控制电流电极接触不良都将使等位面歪斜(见图)，致使霍尔电极不在同一等位面上而产生不等位电势。3.3.2霍尔元件的测量电路2.霍尔元件的误差及其补偿电阻率不均造成不等位电势示意图（2）不等位电势及其补偿霍尔元件的等效电路3.3.3霍尔集成传感器1.线性霍尔集成传感器(a)单端输出(b)双端输出3.3.3霍尔集成传感器2.开关型霍尔集成传感器图4-30内部结构3.3.4霍尔传感器的应用霍尔电动势是关于I、B、两个变量的函数，即UH=KHIB，只要通过测量电路测出UH，那么B和I两个参数中，一个参数已知就可求出另一个参数，因而任何可换成B和I的未知量均可利用霍尔元件进行测量。此外，可转换成B和I乘积的未知量亦可进行测量。霍尔传感器结构简单、工艺成熟、体积小、寿命长、线性好、频带宽，因而得到广泛的应用。1.霍尔电流传感器a）基本原理b）外形1－被测电流母线2－铁心3－线性霍尔IC2.磁场测量(微磁场测量)磁场测量方法很多，其中应用比较普遍的是以霍尔元件做探头的特斯拉计(或高斯计、磁强计)，Ge和GaAs霍尔元件的霍尔电动势温度系数小，线性范围大，适用于做测量磁场的探头。把探头放在待测磁场中，探头的磁敏感面要与磁场方向垂直。控制电流，由恒流源(或恒压源)供给，用电表或电位差计来测量霍尔电动势。根据，若控制电流不变，则霍尔输出电动势正比于磁场，故可以利用它来测量磁场。利用霍尔元件测量弱磁场的能力，可以构成磁罗盘，在宇航和人造卫星中得到应用。3.霍尔接近开关用霍尔接近开关也能实现接近开关的功能，但是它只能用于铁磁材料，并且还需要建立一个较强的闭合磁场。霍尔接近开关应用示意图如图所示。在图b中，磁极的轴线与霍尔接近开关的轴线在同一直线上。当磁铁随运动部件移动到距霍尔接近开关几毫米时，霍尔接近开关的输出由高电平变为低电平，经驱动电路使继电器吸合或释放，控制运动部件停止移动（否则将撞坏霍尔接近开关）起到限位的作用。3.霍尔接近开关a）外形b）接近式c）滑过式d）分流翼片式1－运动部件2－软铁分流翼片霍尔接近开关应用示意图＊任务实施：如图所示，汽车用霍尔转速计是在霍尔式接近开关线性电路背面偏置一个永磁体。可以检测铁磁物体的缺口进行计数，也可以检测齿轮的齿计数。霍尔元件的输出通过检测电路可以测出齿轮的转速。（a）检缺口（b）检齿＊任务实施：霍尔式接近开关使用在使用过程中要注意以下四点：1.过高的电压