先进制造技术课件第五章先进检测技术.pptx

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;;;;;;扫描显微测量方法主要用于测量表面的微观形貌和尺寸，用极小的探针对被测表面进行扫描测出表面的三维微观立体形貌。

X射线干涉显微测量技术是近年来新发展的纳米测量技术，是一种测量范围大，较易实现的纳米级测量方法。;重要标志：精密检测仪器进入生产现场已成为先进制造系统。

研究重点和热点问题：精密与超精密检测技术及误差补偿技术、加工检测一体化。

发展方向：高分辨力、高准确度和高可靠性。;;;;;;;;;;;;;;光学表面轮廓仪

采用激光光源和光学成像系统，可以对物体进行非接触式、高精度的三维测量，适用于复杂形状的物体。

激光轮廓仪则使用激光束作为测量光源，可以对被测物体表面进行快速、高精度的测量，适用于大批量生产中的检测。;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;

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