SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.docxVIP

ICS31-550L95

中华人民共和国电子行业标准

SJ/T11763—2020

半导体制造设备人机界面规范

Specificationforhumaninterfaceforsemiconductormanufacturingequipment

2020-12-09发布2021-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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SJ/T11763—2020

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。

本标准起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子

装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司。

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SJ/T11763—2020

半导体制造设备人机界面规范

1范围

本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。

本标准适用于半导体制造设备。其