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堆垛层错的衬度层错是晶体中最简单的平面型缺陷,是晶体内局部区域原子面的堆垛顺序发生了差错,即层错面两侧的晶体发生了相对位移R。层错总是发生在密排的晶体学平面上,典型的如面心立方晶体的{111}平面上,层错面两侧分别是位向相同的两块理想晶体。对于面心立方晶体的{111}层错,R可以是±1/3〈111〉或者±1/6〈112〉,它们分别代表着层错生成的两种机制。第63页,共90页,星期六,2024年,5月堆垛层错的衬度在衍衬成像条件下,层错区域内的晶体柱被层错面分割成两部分,下部晶体相对于上部晶体存在整体的位移R。下部晶体的附加位相角可以通过α=2πg·R计算,如果把R±1/3〈111〉或者±1/6〈112〉代入,可得或者考虑到面心立方晶体的操作反射g为hkl全奇或全偶,则α只有0、和±2π/3三种可能的值。显然:当α=0时,层错将不显示衬度,即不可见;而当α=±2π/3时,将在图像中观察到它们的衬度第64页,共90页,星期六,2024年,5月堆垛层错的衬度尽管也有层错面正好与薄膜的上、下表面平行的特殊情况,此时如果附加位相角α≠0,层错所在的区域会有不同于无层错区域的亮度;更经常遇到倾斜于薄膜表面的层错,在α≠0的条件下,表现为平行于层错面与薄膜上、下表面交线的亮暗相间条纹,其衬度机理可简单说明如下:柱体OA被层错面分割为上、下两部分,OS=t1和SA=t2(薄膜总厚度t=t1+t2),在层错面处下部晶体整体位移R。当t1=ntg=n/s时,合成振幅与无层错区域的理想晶体柱没有差别,而在t1≠n/s处,合成振幅发生变化,从而形成了与孪晶界等厚条纹十分相似的规则平行亮暗条纹.第65页,共90页,星期六,2024年,5月堆垛层错的衬度倾斜于薄膜表面的层错,在α≠0的条件下,表现为平行于层错面与薄膜上、下表面交线的亮暗相间的等间距规则条纹,其深度周期为tg=1/s层错面两侧晶体取向相同,因而层错厚度消光条纹两边的像衬度即使在样品倾转时也始终保持一致.可以与孪晶界条纹衬度加以区别。第66页,共90页,星期六,2024年,5月条纹衬度特征比较界面条纹平行线非直线间距不等孪晶条纹平行线直线间距不等层错条纹平行线直线间距相等第67页,共90页,星期六,2024年,5月刃型位错衬度的产生及其特征位错引起它附近晶面的局部转动,意味着在此应变场范围内,(hkl)晶面存在着额外的附加偏差。位错线的像将出现在其实际位置的另一侧--本质上是由位错附近的点阵畸变产生的位错线的像总是有一定的宽度对应“应变场衬度”第68页,共90页,星期六,2024年,5月位错衬度第69页,共90页,星期六,2024年,5月第二相粒子衬度这里指的第二相粒子主要是指那些和基体之间处于共格或半共格状态的粒子。它们的存在会使基体晶格发生畸变,由此就引入了缺陷矢量R,使产生畸变的晶体部分和不产生畸变的部分之间出现衬度的差别,因此,这类衬度被称为应变场衬度。第70页,共90页,星期六,2024年,5月第二相粒子衬度以球形共格粒子为例,粒子周围基体中晶格结点原子产生位移,结果使原来的理想晶柱弯曲成弓形,两者衍射波振幅必然存在差别。但是,凡通过粒子中心的晶面都没有发生畸变,这些晶面上不存在任何缺陷矢量(即R=0,α=0),从而使带有穿过粒子中心晶面的基体部分也不出现缺陷衬度。球形共格沉淀相的明场像中,粒子分裂成两瓣,中间是个无衬度的线状亮区。共格第二相粒子的衍衬图像并不是该粒子真正的形状和大小,这是一种因基体畸变而造成的间接衬度。第71页,共90页,星期六,2024年,5月第二相粒子衬度操作矢量g重直于球形粒子中间的无衬度线。这是因为入射晶面正好通过粒子的中心,晶面的法线为g方向,电子束是沿着和中心无畸变晶面接近平行的方向入射的。根据这个道理,若选用不同的操作矢量,无衬度线的方位将随操作矢量而变。操作矢量g与无衬度线成90°。ZrO2-Y2O3陶瓷中析出相的无衬度线第72页,共90页,星期六,2024年,5月第二相粒子衬度在进行薄膜衍衬分析时,样品中的第二相粒子不一定都会引起基体晶格的畸变,因此在荧光屏上看到的第二相粒子和基体间的衬度差别主要是下列原因造成的:1.第二相粒子和基体之间的晶体结构以及位向存在差别,由此造成的衬度。利用第二相提供的衍射斑点作暗场像,可以使第二相粒子变亮。这是电镜分析过程中最常用的验证与鉴别第二相结构和组织形态的方法。2.第二相的散射因子和基体不同造成的衬度。如果第二相的散射因子比基体大,则电子
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