2变极距型电容式传感器讲解.ppt

变极距型电容式传感器二、变极距型电容式传感器由一个固定极板和一个可动极板构成。可动极板由被测金属平面充当。当电容式传感器极板间距δ因某个被测量变化而变化Δδ时，会引起电容变化ΔC。（3-34）式中，C0为极距是δ时的初始电容量。由式（3-34）可知，ΔC与极板间距的变化Δδ不是线性关系，说明该类型电容式传感器存在着原理性非线性误差；但当Δδ＜δ（即量程远小于两极板间的初始距离）时，可以认为ΔC与Δδ是线性关系。另外，在δ较小时，对于同样的Δδ变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但如果δ过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）做介质，此时电容C变为（3-35）式中，εg为云母的相对介电常数，εg=7；ε0为空气的介电常数，ε0=1；δ0为空气隙厚度；δg为云母片的厚度。云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000kV/mm，而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间的起始距离可大大减小。同时，式（3-35）中的项是恒定值，它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。