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多晶硅工艺废气洗涤塔

排空气体着火分析

■文／刘小锋王岭

四川新光硅业科技责任有限公司

在使用改良西门子法生产多晶硅废气的主要来源包括：压缩机吹扫碱液以及保护Ｎ，从Ａ塔顶部进人，

的过程中，合成、精馏、还原、氢化、干氢气（Ｈ，）和吹扫氮气（Ｎ，），所有工喷淋碱液对工艺废气进行同向淋洗

法尾气回收等主工序都会产生一定量艺物料安全阀排至安全阀总管的气反应，在Ａ、Ｂ塔之间有连接管进行

的工艺废气。这些含有氯化氢（ＨＣ１）、体，物料泵、塔、罐容器等的吹扫气连接，经Ａ塔淋洗后的工艺废气通

氯硅烷的工艺废气若直接排放，会造体及置换气体，排至碱液洗涤塔的过连接管进入Ｂ塔，在Ｂ塔中碱液对

成严重的环境污染。一般情况下，这些吸附柱再生气体（返回尾气干法回工艺废气进行逆向淋洗反应，最终

工艺废气都要通到碱液洗涤塔进行淋收系统进行循环回收的再生气体不淋洗后的气体从Ｂ塔顶部通至水封

洗中和，经充分水解、中和后方可排包含在内）。槽后排空。

空。但碱液洗涤塔的排空处或塔体在工艺废气中主要含有Ｈ，、ＨＣｌ、因工艺废气中含有Ｈ、氯硅

定条件下会发生着火现象，事态严Ｎ以及少量的氯硅烷等，其中，Ｈ：、Ｎ：烷等易燃易爆气体，为确保安全生

一

重或控制不当时甚至会发生爆炸事无污染，可以排放至空气中，但ＨＣｌ和产，碱液洗涤塔的操作应注意：碱

故，存在严重的安全隐患。本文主要针氯硅烷为污染性气体，必须通人碱液液洗涤塔在工作过程中要保证塔内

对多晶硅尾气干法回收工序碱液洗涤洗涤塔进行淋洗中和。经碱液淋洗，压强略高于大气压，防止空气进入

塔排空气体的着火现象进行了分析，并充分水解、中和后，工艺废气中的塔内（空气中的氧气为助燃物质）；

并对着火原因作了初步探讨。ＨＣｌ、氯硅烷被除去，剩余的Ｈ、Ｎ由碱液洗涤塔在工作过程中要保持通

水封槽排空。入保护Ｎ进行吹扫；经淋洗中和后

多晶硅尾气干法回收工序工艺废气碱液洗涤塔多为玻璃的气体必须经水封槽后排空，以防

一

．

工艺废气的碱洗流程及设备钢材质，一组洗涤塔一般有Ａ、Ｂ两止排空气体着火后反蹿至碱液洗涤

多晶硅尾气干法回收工序工艺个塔体，结构如图１所示。工艺废气、塔内部。

ＡｄｖａｎｃｅｄＭａｔｅｒｉａｌｓＩｎｄｕｓｔｒｙ

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