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SMT生产中的静电防护技术

编者按：在电子产品制造中，静电放电往往会损伤器件，

甚至使器件失效，造成严重损失，因此SMT生产中的静电

防护非常重要。本刊分别邀请北京、上海的两位专家撰文介

绍与分析电子产品制造中的静电产生源及静电防护原理，较

详细地介绍了SMT生产中的一些静电防护技术基础与相应

措施。供大家参考。1．静电和静电的危害静电是一种电

能，它存留于物体表面，是正负电荷在局部范围内失去平衡

的结果，是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电

荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、

人体起电等现象。随着科技发展，静电现象已在静电喷涂、

静电纺织、静电分选、静电成像等领域得到广泛的有效应用。

但在另一方面，静电的产生在许多领域会带来重大危害和损

失。例如在第一个阿波罗载人宇宙飞船中，由于静电放电导

致爆炸，使三名宇航员丧生；在火药制造过程中由于静电放

电(ESD)，造成爆炸伤亡的事故时有发生。在电子工业中，

随着集成度越来越高，集成电路的内绝缘层越来越薄，互连

导线宽度与间距越来越小，例如CMOS器件绝缘层的典型

厚度约为0．1μm，其相应耐击穿电压在80-100V；VMOS

器件的绝缘层更薄，击穿电压在30V。而在电子产品制造中

以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS

器件的击穿电压，往往会使器件产生硬击穿或软击穿(器件局

部损伤)现象，使其失效或严重影响产品的可靠性。为了控

制和消除ESD，美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、

军用和企业规范或规定。从静电敏感元器件的设计、制造、

购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包

装、运输等均有相应规定，对静电防护器材的制造使用和经

管也有较严格的规章制度要求。我国也参照国际规范制定了

军用和企业规范。例如有航天部、机电部、石油部等规范。

2．静电敏感器件(SSD)对静电反应敏感的器件称为静电敏

感元器件(SSD)。静电敏感器件主要是指超大规模集成电路，

特别是金属化膜半导体(MOS电路)。表1为静电敏感器件的

分级表。可根据SSD分级表，针对不同的SSD器件，采取

不同的静电防护措施。3．电子产品制造中的静电源(1)人体

的活动，人与衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离

等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。人体静电

是导致器件产生硬(软)击穿的主要原因。人体活动产生的静

电电压约0．5-2KV。另外空气湿度对静电电压影响很大，

若在干燥环境中还要上升1个数量级。表2为相对湿度对与

人体活动带电的关系。人体带电后触摸到地线，会产生放

电现象，人体就会产生不同程度的电击感反应，其反应的程

度称为电击感度。表3为不同静电压放电过程中人体的电击

感度。(2)化纤或棉制工作服与工作台面、坐椅摩擦时，可在

服装表面产生6000V以上的静电电压，并使人体带电，此时

与器件接触时，会导致放电，容易损坏器件。(3)橡胶或塑料

鞋底的绝缘电阻高达1013Ω，当与地面摩擦时产生静电，并

使人体带电。(4)树脂、漆膜、塑料膜封装的器件放人包装中

运输时，器件表面与包装材料摩擦能产生几百伏的静电电

压，对敏感器件放电。(5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚

内乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、树脂等高分子材料制

作的各种包装、料盒、周转箱、PCB架等都可能因摩擦、冲

击产生1-3．5KV静电电压，对敏感藉件放电。(6)普通工作

台面，受到摩擦产生静电。(7)混凝土、打腊抛光地板、橡胶

板等绝缘地面的绝缘电阻高，人体上的静电荷不易泄漏。(8)

电子生产设备和工具方面：例如电烙铁、波峰焊机、再流焊

炉、贴装机、调试和检测等设备内的高压变压器、交／盲流

电路都会在设备卜感应出静电。如果设备静电泄放措施不

好，都会引起敏感器件在制造过程中失效。烘箱内热空气循

环流动与箱体摩擦、CO2低温箱冷却箱内的CO2蒸汽均会

可产生大量的静电荷。4．静电防护原理电子产品制造中，

不产生静电是不可能的。