表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则 编制说明.docx

《表面化学分析X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则》

征求意见稿编制说明

一、工作简况

1、任务来源

本标准根据国家标准化管理委员会发[2023]58号《国家标准化管理委员会关于下达2023年第三批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》要求编制，计划编号为T-469，标准名称为：表面化学分析X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则，由广东工业大学、清华大学、赛默飞世尔科技（中国）有限公司负责编制，计划完成时间为2025年4月。

2、工作组成员及任务分工

本标准起草组成员为：严楷，姚文清，刘芬，许燕滨，张桢。其中姚文清和刘芬为ISO/TC201和SAC/TC38委员。本标准责任负责人严楷负责本标准制定全过程起草组工作技术内容把关，组织协调，并进行ISO22581:2021全文翻译，形成翻译稿。许燕滨和张桢负责按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2—2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》给出的规则对翻译稿进行编写，形成《征求意见稿》，并在广泛征求意见基础上形成《送审稿》。刘芬和姚文清负责SAC/TC会议审查修改并形成《报批稿》，报送国家标准委审评中心的沟通修改定稿。

3、主要工作过程

2021年3月，ISO22581:2021（Surfacechemicalanalysis–Nearreal-timeinformationfromtheX-rayphotoelectronspectroscopysurveyscan–Rulesforidentificationof,andcorrectionfor,surfacecontaminationbycarbon-containingcompounds）修订版发布。为使我国X射线光电子能谱（以下简称：XPS）分析技术保持与国际接轨，国家标准与ISO同步，全国微束分析技术委员会表面分析分技术委员会于2022年提出ISO22581:2021转化为国家标准。并列入国家标准委2023年制修订国家标准计划，本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。

2022年11月，起草组按照ISO22581:2021发布版进行的翻译，向SAC/TC38

报送了《表面化学分析X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则》国家标准的提案稿，2023年12月1日，国家标准委下达本国家标准制订计划任务。2024年6月，经过前期资料收集，结合编制单位的实验实践，编制组完成征求意见的整理/处理和《征求意见稿》的修改，形成了本标准《送审稿》，发送给SAC/TC38各位委员和专家，并组织向国内行业专家进行标准意见征集。

二、标准编制原则、主要内容和确定依据

本标准等同采用国际标准ISO22581:2021《Surfacechemicalanalysis–Nearreal-timeinformationfromtheX-rayphotoelectronspectroscopysurveyscan–Rulesforidentificationof,andcorrectionfor,surfacecontaminationbycarbon-containingcompounds》。本文件的编写按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》的规定起草。本标准与国际标准在技术内容方面完全相同，与相关法律法规及强制性标准协调一致。

本标准主要技术内容：本标准所提供的规则仅利用从XPS全谱扫描中获取的信息，主要技术内容包括样品污染的原因、污染识别规则、膜厚度的评估及其影响的校正。同时提供了一个可从含碳的表面污染中识别C1s信号的简单程序，建议的程序以“如果-那么”格式的简单规则结构形式所提供，目的是它们所包含的信息可以被数据系统中的自动化程序所利用。该标准将描述的流程能够识别含碳污染的存在，即得出其厚度的估计值，并消除其对需要解析的表面成