表面化学分析 X射线光电子能谱 均匀材料中元素检测限的评估和报告 征求意见稿.docx

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表面化学分析X射线光电子能谱均匀材料中元素检测限的评估

和报告

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1范围

本文件规定了在常规分析条件下从特定样本获得的X射线光电子能谱（XPS）数据中评估元素检测限并给出报告的步骤。本文件适用于均匀材料，对XPS信息深度内元素深度分布不均匀的材料不适用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

ISO

ISO18115-1，表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学中的术语

ISO18115-2，表面化学分析词汇第2部分：扫描探针显微镜中的术语

3术语和定义

文件GB/T22461-2008界定的术语和定义适用于本文件。

3.1参考元素

样品中存在的化学元素，其峰面积和相对含量可检测。

3.2指定元素

正在进行检测限计算的化学元素。

4符号和缩略语

Ai元素i的光电子峰总强度，counts或cps（summedintensityofthephotoelectronlineofelementi,countsorcps）

AC峰总强度检测的临界值，counts或cps（criticallevelofdetectionforapeakinsummedintensity,countsorcps）

AD在要求的置信区间内检测到的最小峰总强度（minimaldetectablesummedintensityforapeakattherequiredlevelofconfidence）

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AMRSF平均基体相对灵敏度因子（averagematrixrelativesensitivityfactor）αm多项式方程中m阶系数（coefficientsoforderminapolynomialequation）at.%原子百分浓度（atomicpercentconcentration）

α电子相对于样品表面法线的平均发射角（averageemissionangleofelectronsrelativetothesurfacenormalofthesample）

B(E)描述本底的E的函数，counts或cps（functionofEdescribingbackground,countsorcps）BE结合能（bindingenergy）

b定义本底的谱峰数据点数（numberofdatapointsthatdefinethebackgroundunderapeak）

c在总强度测量中b的数据点数（numberofdatapointsfrombthatareusedinasummedintensitymeasurement）

cps每秒计数（countspersecond）

d指定元素的原子直径（diameteroftheatomsofthespecifiedelement）δA(x)峰强Ax的相对不确定度（relativeuncertaintyofpeakintensity,Ax）δS检测限S的相对不确定度（relativeuncertaintyofthedetectionlimit,S）

δσ(B)本底σB标准偏差的相对不确定度（relativeuncertaintyofthestandareddeviationofthebackgourndσB）

δX(D)检测限XD的相对不确定度（relativeuncertaintyofthedetectionlimit,XD）EBE或KE的数值，eV（numericalvalueofeitherBEorKE,eV）

Ej元素j的光电子峰对应的BE或KE的数值，eV（numericalvalueofeitherBEorKEof