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双MESA结构压电石英晶体频率片的设计
摘要
石英晶体谐振器是利用石英晶片逆压电效应而制成的谐振器件，作为频率输出元件是电子信息产业的基础元器件，广泛应用于通信设备、航天航空、消费类电子产品等领域。随着5G和工业互联网的发展，石英晶体谐振器逐渐向小型化、高频化、低功耗发展。为了满足SMD（贴片式）石英晶体谐振器小型化的发展需求，对它的核心部分石英晶体频率片提出了更高的要求。
本文在传统的机械加工难以实现石英晶片小型化的条件下，提出基于半导体光刻加工工艺为基础，设计双MESA（凸台）结构的石英晶体频率片的研究。借助有限元分析法可以提高石英晶片的研发
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