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N型VDMOS器件的制造工艺
摘要
VDMOS器件是新一代电力电子开关器件，无论是开关应用还是线性应用，都是理想的功率器件，是当前半导体分立器件的高端产品，主要用于电机调速、逆变器、不间断电源、电子开关、高保真音响、汽车电器和电子镇流器等领域，应用十分广泛，因此对VDMOS器件的设计和研制具有实用价值。
本文概述了功率器件的研究背景、发展过程以及国内外功率器件的发展现状，介绍了N型VDMOS器件的工作原理、基本结构和电特性参数，重点研究了N型VDMOS器件的制备工艺流程及各个单步工序工艺；利用TCAD软件对一款N型VDMOS器件的整个工艺流程进行了模拟仿真，输出电参数结果；将
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