表面化学分析 X射线光电子能谱分析方法通则 编制说明.pdf

表面化学分析X射线光电子能谱分析方法通则

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1.1任务来源

2023年12月28日国家标准化管理委员会文件国标委发[2023]64号文“国家

标准化管理委员会关于下达2023年国家标准复审修订计划的通知”下达了《2023

年国家标准复审修订计划项目汇总表》中的修订任务，计划编号为：T-469，由北京大学化学与分子工程学院负责起草，任务周期为16个

月。

1.2制定背景及起草人分工情况

X射线光电子能谱（XPS）是材料表面分析领域最重要的手段之一。它通过

测定表面元素（H、He除外）芯能级光电子的结合能，可得到元素组成、化学

状态及电子结构等方面的信息，在与材料表面性质相关的科学研究（化学、材料

和物理）和工程技术（催化、环境、信息和医学等）都有广泛的应用。近些年来，

随着技术的不断发展，与XPS相关的仪器设备和实验技术也不断发展提高，特

别是XPS在表面化学分析技术标准化方面有诸多贡献（国家标准有近40项）。

因此，为适应XPS表面分析技术的发展，使之更好的为教育科研、技术创新和

生产生活服务，需要对2004年发布的XPS方法通则进行必要的修订，以便更好

的适应并推动当前XPS仪器设备制造和技术应用的不断进步和发展。

自2022年5月全国微束分析标准化委员会表面化学分委员会同意由北京大

学化学与分子工程学院谢景林老师上报国家标准化管理委员会申请立项，并作为

本标准责任人负责本标准制定全过程技术内容把关和组织协调。本标准起草组成

员为：谢景林、徐尧、周雄、姚文清、吴正龙、刘芬、沈电洪、吴文辉。其中刘

芬、沈电洪为SAC/TC38和SAC/TC38/SC2委员，谢景林、姚文清、吴正龙为

SAC/TC38/SC2委员。起草组分工如下：谢景林负责资料收集和《征求意见稿》

起草，徐尧、周雄负责意见收集及《征求意见稿》的修改和完善，姚文清、吴正

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龙负责SAC/TC会议审查修改并形成《报批稿》草案修改，刘芬、沈电洪负责《报

批稿》校核。

1.3主要工作过程

1.3.1起草阶段

本标准的修订工作最早于2022年4月启动，全国微束分析标准化委员会表

面化学分委员会提出推荐性国家标准修订意见，建议由北京大学化学与分子工程

学院负责申请修订并提供修订草案初稿，并于同年5月上报国家标准化管理委员

会申请立项。

1.3.2开展阶段

2022年5月至2023年4月的一年时间里，起草小组开展广泛的资料收集和

调研工作，对原有标准进行了仔细审查和反复推敲，不断完善形成《意见征求稿

（草案）》。标准修订草案提出修订立项申请后，由北京大学、清华大学、北京

师范大学、中科院化学所和物理所等专家组成的标准起草工作组开展了广泛的资

料收集工作，在原有标准的基础上进行了仔细审查和修订，2023年3月完成征

求意见稿。

1.3.3征求意见阶段

2023年5月至2024年8月，《意见征求稿（草案）》提请全国微束分析标

准化委员会表面化学分委员会部分专家进行意见征集，针对专家提出的意见起草

小组认真修改，主要增加了“引言”和一些技术性修改，包括引用一些新发布

XPS相关标准，力求符合XPS技术发展现状。2024年9月13日全国微束分析

标准化委员会表面化学分委员会还专门组织“表面化学分析国家标准征求意见稿

讨论会”对标准草案进行仔细推敲审核，会上各位委员共提出意见。广泛

征求意见的基础上修改形成《报批稿》。

1.3.4试验验证阶段

自从GB/T19500—2004发布已近20年，是较早的自编分析方法通则，多年

来，我国发布了大量XPS技术相关国家标准，包括大部分国际标准已经转换为

国家标准。其中有19项表面化学分析通用技术规范和指南。大部分标准已在日

常XPS分析测试工作中得到广泛的应用和验证，本文件将归纳吸收多年来XPS

实践经验，对原标准进行必要修订和补充。

1.3.5审查阶段

2024年9月全国表面化学标准化委员会组织部分专家对该修订标准报批稿

进行审查，