《因瓦条码水准标尺检定规程》不确定度评定报告.DOCVIP

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因瓦条码水准标尺基本码分划误差

的测量不确定度评定示例

1测量对象和方法

1.1测量对象：测量范围（0～3）m的因瓦条码水准标尺（以下简称条码尺）。

1.2测量方法：条码尺基本码分划误差的检测在竖向检定系统上进行。检测时，电机驱动导轨使条码水准标尺向下匀速运动，双频激光干涉仪和影像传感器同步分别采集位移数据和影像数据，直至检测结束。

2测量模型

对采集的水准标尺的像数据进行处理后，得到标尺上第i个分划的位置为，由m幅图像经处理后获得，每幅图像获得的第i个分划的位置为：

QUOTEpij=ξij-αyij

式中：

第i个分划的第j幅图像获得的第i个分划的位置，mm；

第i个分划的第j幅图像同步采集的双频激光干涉仪读数，mm；

QUOTEyij第i个分划在第j幅图像上的位置，pixel；

定标参数，mm/pixel，实验室定标参数为0.0096mm/pixel。

第i个分划由m幅图像获取的位置取均值获得，因此有：

QUOTEpi=1mpij

条码尺基本码宽为相邻黑码中心间隔，因此基本码宽由4个分划求得，即：

式中：

△基本码宽，mm；

、、、分别为第i+2、i+1、i和i-1个分划的位置，mm。

则：

式中：

基本码宽的标准测量不确定度，mm；

QUOTEu(ξ)双频激光干涉仪读数的不确定度，mm；

图像采集的不确定度，pixel；

m第i个分划有m幅图像，本装置各分划的图像幅数基本一致，m=13。

3输入量的标准不确定度的评定

3.1双频激光干涉仪装置引入的不确定度分量

3.1.1由双频激光干涉仪自身仪器误差引入的不确定分量QUOTEu1(ξ)

激光干涉仪经中国计量科学研究院检定，其不确定度为：，条码尺校准时运行距离最长为2.6m，根据上式产生的最大误差为0.46，则由此引入的不确定度分量为：

3.1.2由环境误差引入的不确定度分量

环境误差包括气温、气压、湿度测量不准确及在测量过程中的变化引起的误差。根据Edlen公式可以导出在标准状态环境附近的微分式：

式中：

L测量长度；

因气温、气压和湿度引起的长度误差；

相对于标准状态(气压P=1013250Pa，温度t=20℃，湿度f=1333Pa的空气折射率的变化量；

、、气温、气压和湿度相对于标准状态的变化量。

通常，采用上式对双频干涉仪的长度测量值进行改正。经改正后，环境误差主要为气温、气压和湿度的测量误差而引起的误差。上式中湿度对折射率的影响因子较小，在湿度传感器的不确定度为40Pa时，其对折射率的影响仅为0.02ppm，因此可以忽略湿度测量误差的影响。温度测量的最大误差为0,2℃，气压测量的最大误差为30Pa，检测过程中双频干涉仪测量长度最长为1.6m，按正态分布，由环境误差其引入的不确定度为：

3.1.3由激光于涉仪安装误差引入的不确定度分量

安装误差是由激光头、干涉仪、反射镜安装不当造成的，主要包括余弦误差、阿贝误差和空程误差。

余弦误差是由于激光光轴与运动轴不平行而引起的，其大小与两轴之间夹角的余弦成比例。阿贝误差是因为激光光轴与运动轴不重合引起的。空程误差，也称死区误差，是由于干涉仪置零时干涉镜与反光镜之间的光程无补尝造成的，其误差大小与死区长度和测量期间波长补偿数的变化量成正比。

在竖向检定系统中，激光干涉仪的反光镜安装在运动导轨的轴线上，通过调节激光光路，使激光光路准直，阿贝误差和余弦误差非常小，其影响可以忽略。另外，因为死区长度较小，且实验室环境非常稳定，可以忽略空程误差的影响，则：

3.2图像采集引入的不确定度分量

3.2.1由图像处理算法引入的不确定度分量

图像处理引入的最大误差为0.5个像素，目前系统的1个像素相当于9.6μm，因此由图像处理引入的最大误差为4.8μm。按均匀分布，则由CCD图像处理引入的不确定度分量为：

3.2.2由曝光延迟引入的不确定度分量

影像曝光时间为2ms，条码尺运行速度为1mm/s，在曝光时间内条码尺运行了2μm。按均匀分布，则由CCD曝光延迟引入的不确定度分量为：

4合成标准不确定度评定

由于各不确定度分量之间不具有值得考虑的相关性，则合成标准不确定度为：

5扩展不确定度评定

计算扩展不确定度时，取包含因子，并取1位有效数字，则扩展不确定度为：。

6测量不确定度的报告与表示

因瓦条码水准标尺基本码分划误差的测量不确定度为：,。