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拉晶工艺指导书--第1页
拉
晶
工
艺
指
导
书
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拉晶工艺指导书--第1页
拉晶工艺指导书--第2页
一、有关说明
（一）、
晶体直径
坩埚转动（连续可调）1-30rpm
液压缸行程
加热功率最大140kW
-加热电压0–60Volt
-加热电流最大2,300Amp
熔化温度最大1,600°C
主炉室真空泵抽速
-滑阀泵(主泵)大约70l/s
-旋片泵(副泵)大约15l/s
冷态空炉子的极限真空度≤3Pa
冷态炉子的泄漏率（压升法）最大0.3Pa/min
允许工作正压
不带泵和走道的空间要求
总设备高度
外围设施
-冷却水消耗量最小20m3/min
-冷却水压力
绝对压力最小1.5kg/cm2
最大2.0kg/c
冷却水回水压力
-绝对压力最大1.5kg/cm2
-冷却水进水温度最小20°C
最大25°C
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