纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展.pdfVIP

HansJournalofNanotechnology纳米技术,2022,12(2),49-55

PublishedOnlineMay2022inHans./journal/nat

/10.12677/nat.2022.122007

纳米氮化铝粉体的制备及应用研究进展

11*2211

宋志键，刘世凯，黄威，徐天兵，陈颖鑫，孙亚光

1河南工业大学材料科学与工程学院，河南郑州

2连云港市沃鑫高新材料有限公司，江苏连云港

收稿日期：2022年4月11日；录用日期：2022年5月11日；发布日期：2022年5月19日

摘要

纳米氮化铝(AlN)具有优良的热导率、电学性能和力学性能，被广泛应用于新一代半导体器件。氮化铝器

件的性能表现取决于氮化铝粉体的质量，因此，优质氮化铝粉体的制备是氮化铝行业发展的关键。本文

综述了氮化铝的纳米粉体制备及相关应用的研究进展，并讨论了氮化铝的发展方向。

关键词

氮化铝，纳米粉体，制备方法，应用领域，研究进展

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