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２０２４年４月机床与液压Ａｐｒ２０２４
第５２卷第８期ＭＡＣＨＩＮＥＴＯＯＬ＆ＨＹＤＲＡＵＬＩＣＳＶｏｌ５２Ｎｏ８
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ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１３８８１２０２４０８００５
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文献引用：彭皓，杨志军，蔡炳彧，等．基于柔性铰链微动平台的自抗扰控制方法［Ｊ］．机床与液压，２０２４，５２（８）：２４２８．
Ｃｉｔｅａｓ：ＰＥＮＧＨａｏ，ＹＡＮＧＺｈｉｊｕｎ，ＣＡＩＢｉｎｇｙｕ，ｅｔａｌ．Ａｃｔｉｖｅｄｉｓｔｕｒｂａｎｃｅｒｅｊｅｃｔｉｏｎｃｏｎｔｒｏｌｍｅｔｈｏｄｆｏｒｆｌｅｘｕｒｅｈｉｎｇｅｍｉｃｒｏｓｔａｇｅ［Ｊ］．Ｍａ⁃
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ｃｈｉｎｅＴｏｏｌ＆Ｈｙｄｒａｕｌｉｃｓ，２０２４，５２（８）：２４２８．
基于柔性铰链微动平台的自抗扰控制方法
１１，２３１，２
彭皓，杨志军，蔡炳彧，白有盾
（１广东工业大学，精密电子制造技术与装备国家重点实验室，广东广州５１０００６；２佛山市华道超精
科技有限公司，广东佛山５２８２２５；３汕头职业技术学院机电工程系，广东汕头５１５０７８）
摘要：微动平台一般以柔性铰链为导向机构，由于系统固有频率低，会严重限制传统ＰＩＤ算法的控制带宽，影响定位
精度。因此，设计自抗扰控制算法（ＡＤＲＣ）将系统未建模动态与外部未知扰动共同视作“总扰动”，通过扩张状态观测器
（ＥＳＯ）进行估计和补偿，提高系统的控制带宽。为了充分利用已知的模型信息，设计基于模型的ＡＤＲＣ算法，将柔性铰链
标称模型输入到ＥＳＯ中，进一步提升系统的控制性能。最后，通过１０μｍ行程的点位运动实验进行验证。结果表明：因为
控制带宽无法过大而导致ＰＩＤ难以响应，ＡＤＲＣ提高了控制系统带宽，实现了精密定位；模型ＡＤＲＣ进一步提升了响应速
度与定位精度。相比ＡＤＲＣ，模型ＡＤＲＣ整定时间缩短了６８１％，最大跟踪误差降低了５３８％，定位精度提升了６０７％。
关键词：柔性铰链；微动平台；自抗扰控制；扩张状态观测器
中图分类号：ＴＰ２７３
ＡｃｔｉｖｅＤｉｓｔｕｒｂａｎｃｅＲｅｊｅｃｔｉｏｎＣｏｎｔｒｏｌＭｅｔｈｏｄｆｏｒＦｌｅｘｕｒｅＨｉｎｇｅＭｉｃｒｏＳｔａｇｅ
１１，２３１，２
ＰＥＮＧＨａｏ，ＹＡＮＧＺｈｉｊｕｎ，ＣＡＩＢｉｎｇｙｕ，ＢＡＩＹｏｕｄｕｎ
（１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＥｑｕｉｐｍｅｎｔ，Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ
ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＧｕａｎｇｚｈｏｕＧｕａｎｇｄｏｎｇ５１０００６，Ｃｈｉｎａ；２．ＦｏｓｈａｎＨｕａｄａｏＵｌｔｒａＰｒｅｃｉｓｉｏｎ
Ｔｅｃｈ．Ｌｔｄ．，ＦｏｓｈａｎＧｕａｎｇｄｏｎｇ５２８２２５，Ｃｈｉｎａ；３．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌ
Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，
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