刻蚀工艺介绍课件.pptVIP

刻蚀工艺介绍辛小刚

刻蚀原理介绍刻蚀主要工艺参数刻蚀液更换频率的管控刻蚀不良原因分析

刻蚀原理介绍刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的Metal/ITO膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需要的图形。

刻蚀种类目前我司的刻蚀种类主要分两种：1、Metal刻蚀刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。Metal：合金金属2、ITO刻蚀刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。ITO：氧化铟锡（混合物）

刻蚀前后对比照片Metal刻蚀前后：ITO刻蚀前后：

主要工艺参数刻蚀液的浓度对刻蚀效果影响较大，所以我们主要通过：来料检验、首片确认、定期更换的方法来保证。12345刻蚀液浓度刻蚀温度刻蚀速度喷淋流量过刻量温度越高刻蚀效率越高，但是温度过高工艺方面波动较大，只要通过设备自带温控器和点检确认。刻蚀流片的速度与刻蚀速率密切相关喷淋流量的大小决定了基板表面药液置换速度的快慢，流量控制可保证基板表面药液浓度均匀。过刻量即测蚀量，适当增加测试量可有效控制刻蚀中的点状不良

刻蚀液更换频率的管控作业数量管控：每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。作业时间管控：由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。首片和抽检管控：作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约25min）。

刻蚀不良的产生原因1、大面积刻蚀不干净：-------刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。2、刻蚀不均匀：-------喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。3、过刻蚀：-------刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。

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