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In_2O_3_ITHfO热流传感器制备及性能研究.pdf

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    摘要

    伴随着航空航天技术的发展，航空发动机正在朝着高推重比，高涡轮进气口温度

    的方向发展。发动机中涡轮盘和叶片等部件将工作在更加严苛的环境中，例如高温、

    高压、高转速、大热流等条件。其中热流反应了单位时间和面积上热量的传递量。快

    速准确地测量涡轮叶片表面热流的大小及分布对优化其结构设计，及时了解发动机

    工作状态，保障飞行安全具有重要意义。

    本文针对现有热流传感器输出量程小，温度极限测量值低，高温稳定性差的问题，

    设计了一种InO/ITHfO厚膜热流传感器。通过在ITO中掺杂HfO

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