半导体洁净室 空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法编制说明.docxVIP

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ICS13.040.30

CCSH80

团体标准

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半导体洁净室空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定电感耦合等离子体质谱法

Semiconductorclean-room-Airmolecularcontaminant(AMC)dopantBandPdetermination-Inductivelycoupledplasmamassspectrometry

（审定稿）

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

发布中国有色金属工业协会

发布

中国有色金属学会???

前??言

本标准按照GB/T1.1-2020给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本标准起草单位：中环领先半导体科技股份有限公司等。

本标准主要起草人：李春阳等。

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半导体洁净室空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定电感耦合等离子体质谱法

范围

本文件描述了电感耦合等离子体质谱仪测定半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的测定方法。

本标准适用于半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的测定。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T11446.1电子级水

GB/T14264半导体材料术语

GB/T37837四级杆电感耦合等离子体质谱方法通则

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度

GB/T25915.6-2010洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

GB/T25915.8-2021洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级

术语和定义

GB/T14264、GB/T25915.1、GB/T25915.6、GB/T25915.8界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

方法原理

使用空气采样泵用纯水作吸收液吸收洁净室空气中的B和P元素，将含有待测元素的吸收液通过电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS）进样系统由载气带入高频等离子体源中，并在高温和惰性气氛中蒸发、解离、原子化和电离。这些离子高速通过双锥接口进入离子透镜后，在电场作用下聚焦成离子束并进入分离系统。离子被提取出并按照其质荷比分离后经离子检测器进行检测。按照质荷比进行定性分析、特定质荷比的检测信号进行定量分析，得出扫描溶液中待测元素的质量浓度。

干扰因素

5.1为避免因人员操作带入外部沾污，检测人员应对测试过程中各环节可能存在的沾污具有控制的技术和能力。

5.2采样过程中应尽可能避免触碰器皿接口边缘，以防止带入外部沾污。

5.3电感耦合等离子体质谱仪的调谐，如气压设定、稳定性、零点漂移、灵敏度等均会影响测试结果，为确保设备的可靠性实验室应定期对设备进行核查。

5.4所用到的器皿和管路、工具和防护用具的洁净度会影响测试结果，为减少其对实验结果的影响实验室应具备清洗流程和验收程序以保证器皿和管路、工具和防护用具的洁净度。

5.5吸收液对测试结果存在影响，本方法使用的吸收液为超纯水。

5.6器皿的元素析出会对结果造成影响，实验室可根据分析元素选择合适的采样容器。

5.7采样区域的环境会影响测试结果，应在GB/T25915.1-20216级及以上区域采样，防止环境颗粒溶解吸收液中堵塞仪器进样管。

仪器和设备

6.1电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS）。

6.2空气采样泵：流量0.050L/min～5.00L/min。

6.3移液器：10μL～100μL、100μL～1000μL。

6.4分析天平：分度值=0.00001

6.5由聚丙烯（PP）或聚四氟乙烯（PTFE）或全氟烷氧基树脂（PFA）等可清洗且对测试结果无影响的材料制成的用于储存、收集溶液的器皿。

6.5.1冲击式吸收瓶：30mL~100mL。

6.5.2储液瓶：容量10