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导电薄膜透明电极简介

透明导电薄膜做透明电极的优点：

为了达到在光纤面板（FOP）表面既要加载电压又要透光目的，需要在FOP表面制作

透明电极。目前均采用在FOP表面真空蒸镀Al膜的方法制成透明电极。此电极存在以下缺

点：1）在FOP表面蒸镀的Al膜与FOP的结合力欠佳，膜强度低，接触电阻很大，在使用

中易发生电极打火现象；2）金属薄膜的透过率较低（一般只有30～40%），图像的清晰度不

高；3）真空镀膜的成本较高。

透明导电薄膜不仅具有低电阻率，而且薄膜材料与玻璃表面的结合强度大，从根本上消

除了打火现象。透明导电薄膜的透过率高（通常大于90%），可在CCD相机上记录下清晰的

结果。采用高温热解法制备透明导电薄膜所需型设备简单，且制备工艺简单，工艺条件易于

控制，所需原料价格廉价，制造成本远远低于真空镀膜，而薄膜均匀性可与真空镀膜相媲美。

因此可用透明导电薄膜代替Al膜制成FOP表面的透明电极。

主要技术指标：

所制透明电极与光纤面板的结合强度大；耐酸碱腐蚀，稳定性好；薄膜方阻小于30Ω/□、平

均透过率高于90%。通过实验测试证明了透明电极不但成功解决了电极打火现象、提高了图

像的清晰度，而且减小了图像失真，提高了相机的分辨率。这种透明电极可普遍替代现有的

条纹相机、微光夜视仪等仪器中的Al膜透明电极。