柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN103031531A

(43)申请公布日2013.04.10

(21)申请号CN201210581766.4

(22)申请日2012.12.28

(71)申请人苏州汉纳材料科技有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4-508

(72)发明人陈新江张景春

(74)专利代理机构北京华夏博通专利事务所(普通合伙)

代理人孙东风

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备

方法及系统

(57)摘要

一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的

制备方法及系统。该方法包括：在FCCVD

装置的炉管低温区置入卷成筒形的可挠式

薄片；向FCCVD装置内输入原料进行碳

纳米管合成反应，同时匀速转动炉管，使

生成的碳纳米管均匀沉积在可挠式薄片内

壁上形成连续的碳纳米管薄膜；利用卷对

卷方式将碳纳米管薄膜转移至柔性衬底上

获得目标产物；该系统包括：用以合成碳

纳米管的FCCVD装置；被卷成筒形后置

于FCCVD装置的炉管内的可挠式薄片，

用于沉积形成连续均匀的碳纳米管薄膜；

以及碳纳米管薄膜转移装置。本发明工艺

简单，易于实施，高效且成本低廉，易实

现大规模生产，且无需对碳纳米管进行分

散处理，不会损伤碳纳米管，因此获得的

透明导电薄膜有更好的电学性能，具有更

重要的实用价值。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：

在FCCVD装置的炉管内置入卷成筒形的可挠式薄片；

向FCCVD装置内输入用于制备碳纳米管的原料，在设定条件下进行碳纳米管合成

反应，同时以设定转速转动炉管，使生成的碳纳米管均匀沉积在可挠式薄片的内壁

上，形成连续的碳纳米管薄膜；

利用卷对卷方式将碳纳米管薄膜从可挠式薄片表面转移至柔性衬底上，形成柔性碳

纳米管透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所

述可挠式薄片在被卷成筒形并置入炉管时，其外壁与炉管内壁紧贴。

3.根据权利要求1或2所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，

所述可挠式薄片采用能耐受100-500℃温度的可挠式薄板，包括厚度小于1mm的

有机材质或无机材质薄板，所述有机材质薄板包括耐高温高分子薄膜，所述无机材

质薄板包括厚度小于0.2mm的金属箔。

4.根据权利要求3所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所

述可挠式薄片包括经0.1-2M稀盐酸处理1-30min的金属箔或经有机溶剂清洗过的

耐高温高分子薄膜，所述有机溶剂包括丙酮或乙醇。

5.根据权利要求1或2或4所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征

在于，所述可挠式薄片设于炉管低温区内距离反应温区2cm以外。

6.根据权利要求1所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，它

还包括：以浓度为1-17M的硝酸对已被转移至柔性衬底上的碳纳米管薄膜进行掺

杂处理，处理时间0.1-60min。

7.根据权利要求1或6所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，

所述碳纳米管薄膜的厚度为10-500nm。

8.根据权利要求1所述的柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所

述炉管转速为0.01-500rpm。

9.一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备系统，其特征在于，包括：

FCCVD装置，用以在设定条件下将用于制备碳纳米管的原料合成碳纳米管，其包

括可绕自身轴线旋转的炉管，所述炉管内沿轴向依次分布有反应温区和低温区；

可挠式薄片，被卷成筒形后置于所述低温区内，且距反应