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企业竞争图谱：2024年半导体掩膜版头豹词条报告

系列

刘刘思瑾·头豹分析师

2024-09-27未经平台授权，禁止转载版权有问题？点此投诉

行业：制造业/专用设备制造业/电子和电工机械专用设备制造/半导体器件专用设备制造原材料业/原材料

行业定义行业分类行业特征发展历程

常见的半导体材料有硅、锗根据基板材料的不同，掩膜半导体掩膜版行业的特征包半导体掩膜版行业

等元素半导体，以及砷化…版可分为石英掩膜版、苏…括技术壁垒高、主要原材…目前已达到4个阶段

产业链分析行业规模政策梳理竞争格局

上游分析中游分析下游分析半导体掩膜版行业规模半导体掩膜版行业

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摘要半导体掩膜版行业市场规模持续增长，受技术进步、需求增长及政策支持驱动。碳化硅、氮化镓等第三代半导体

材料推动行业发展，但原材料与设备依赖进口。技术壁垒高，涉及精密光学等多领域。行业国际化程度高，企业

积极开拓国际市场。疫情曾短暂影响市场，但随后恢复增长。未来，政策支持与国产替代将推动市场规模进一步

扩大，减少对进口依赖，增强中国在全球半导体产业链中的竞争力。

行业定义[1]

常见的半导体材料有硅、锗等元素半导体，以及砷化镓、碳化硅、氮化镓等化合物半导体，其中碳化硅、氮

化镓是第三代半导体的代表性材料。掩膜版在微电子生产中扮演着图形传递基础模板的角色，主要用于中高端半

导体器件的生产，如集成电路、微机电系统（MEMS）、功率器件等。其功能是通过曝光技术，将设计图样的电

路图案转印至下工序的基材或晶圆上，以便进行大规模制造。作为光刻步骤中图形复制的标准和模板，掩膜版是

工业设计与生产制造之间的桥梁，其精确度和质量直接关系到最终产品的合格率。掩膜版需具备良好的图案转移

能力，包括精确的线宽控制、较小的图案偏差和良好的成像性能。掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用

的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片

上。

[1]1：路维光电招股说明书

行业分类[2]

根据基板材料的不同，掩膜版可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他掩膜版(干版、凸版和菲林等)。

半导体掩膜版行业基于基板材料的分类

以高纯石英玻璃为基材，具有高透过率、高平坦度、低

石英掩膜版膨胀系数等优点，通常应用于高精度掩膜版产品。主要

用于平板显示制造和半导体制造等领域。

以苏打玻璃为基材，相比石英玻璃具有更高的膨胀系

苏打掩膜版数、更低的平坦度，通常应用于中低精度掩膜版产品。

主要用于半导体制造、触控制造和电路板制造等领域。

半导体掩膜

其他掩膜版菲林是以感光聚酯PET为基材，应用于低精度掩膜版产

版分类

（菲林）品。主要用于液晶显示制造和电路板制造等领域。

凸版是以紫外固化聚氨酯类树脂为基材，主要用于液晶

其他掩膜版