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基于PSO优化SVM的MEMS加速度计温

度补偿方法研究

作者：刘滔徐大诚赵鹤鸣

来源：《现代电子技术》2018年第10期

摘;要：温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构

及温度特性，采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法，创建MEMS加

速度计温度补偿模型，并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明，补偿

后加速度计的标度因数温度系数、全温零偏极差、非线性度分别由补偿前的264ppm/℃，

71.98mg，2.07%降低到105ppm/℃，10.31mg，0.25%，可见补偿后加速度计的性能得到比较

明显的改进，能证明该方法的有效性和可行性。

关键词：MEMS加速度计;扭摆式硅微加速度计;粒子群优化算法;自适应权重;支持向量

机;温度补偿

中图分类号：TN37+3⁃34;U666.1;;;;;;;;文献标识码：A;;;;;;;;;文章编号：

1004⁃373X（2018）10⁃0058⁃05

Abstract：TemperaturehasgreatinfluenceontheperformanceofMEMSaccelerometer.

Combinedwiththestructureandtemperaturecharacteristicsofthependuloussilicon

micro⁃accelerometer，anadaptiveweightbasedparticleswarmoptimization（AW⁃PSO）

algorithmisadoptedtooptimizesupportvectormachinealgorithmandcreatethetemperature

compensationmodelforMEMSaccelerometer.STM32F405RG64isusedtorealizethereal⁃time

temperaturecompensationsystem.Theexperimentalresultsshowthataftercompensation，thescale

factortemperaturecoefficient，full⁃temperaturezerobiasrangeandnon⁃linearityofthe

accelerometerarereducedfrom264ppm/℃，71.98mgand2.07%beforecompensationto105

ppm/℃，10.31mgand0.25%respectively，whichindicatesthataftercompensation，the

accelerometerperformanceisobviouslyimproved，andtheeffectivenessandfeasibilityofthe

methodaredemonstrated.

Keywords：MEMSaccelerometer;penduloussiliconmicro⁃accelerometer;PSO;adaptive

weight;SVM;temperaturecompensation

MEMS（MicroElectronicMechanicalSystems）加速度计是用来测量运动物体加速度的传

感器，被广泛应用于航空航天、智能手机、交通运输等领域[1]。由于MEMS加速度计是硅材

料制作，其性能易受温度影响，导致器件精度下降[2]。因此，必须采取合理的措施减小温度

变化造成的不良影响。常用的温度补偿方法有硬件补偿和软件补偿。硬件补偿通过改善

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MEMS加速度计的结构