金属冶炼-高纯砷.docVIP

ICS?FORMTEXT29.045

FORMTEXTCCSH81

FORMTEXT?????

FORMTEXTYS

中华人民共和国FORMTEXT有色金属行业标准

FORMTEXTYS/TFORMTEXT43—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT代替YS/T43-2011

FORMTEXT高纯砷

FORMTEXTHigh-purityarsenic

FORMTEXT?

FORMDROPDOWN

FORMTEXT??

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT中华人民共和国工业和信息化部???发布

YS/TXXXXX—XXXX

PAGEI

前??言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件代替YS/T43-2011《高纯砷》，与YS/T43一2011相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

更改了适用范围（见第1章，2011年版的第1节）；

删除了规范引用文件中版本的引注日期（见第2章，2011年版的第2章）

增加了AS7N5牌号（见4.2，2011年版的第3.1）

增加了AS7N5化学成分（见5.1，2011年版的第3.2）

修改了AS5N、AS6N化学成分（见5.1，2011年版的第3.2）

增加了高纯砷棒材规格尺寸（见5.2，2011年版的第3.3）

删除了不规则块状（见5.3，2011年版的第3.5）

修改了高纯砷试验方法，增加了高纯砷棒材试验方法（见6章，2011年版的第4章）

增加了辉光放电质谱法测定高纯砷中硅、硫等元素（见第2章）

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：峨眉山嘉美高纯材料有限公司，东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司，武汉拓材科技有限公司，朝阳金美镓业有限公司，广东先导先进材料股份有限公司。

本文件主要起草人：

本文件于1992年首次发布为YS/T43-92，2011年第一次修订，本次为第二次修订。

YS/TXXXXX—XXXX

PAGE2

高纯砷

范围

本文件规定了高纯砷的分类技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于质量分数不小于99.999%的高纯砷的生产、检测及质量评价。产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ主族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB16483化学安全技术说明书编写规定

GB30000化学品分类和标签规范

GB/T33236多晶硅痕量元素化学分析辉光放电质谱法

YS/T34.1电感耦合等离子质谱（ICP-MS）法测定高纯砷中杂质含量

JT617汽车运输危险货物规则

术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

分类

4.1高纯砷按形状分为颗粒产品及棒材。

4.2高纯砷按化学成分分为As5N、As6N、As7N、As7N5四个牌号。

技术要求

5.1化学成分

5.1.1高纯砷的化学成分应符合表1的规定。

牌号及化学成分

牌号

As5N

As6N

As7N

As7N5

化学成分（质量分数）

As含量a，不小于%

99.999

99.9999

99.99999

99.999995

杂质含量，不大于10-4%

Na

0.5

0.05

0.01

0.008

Mg

0.1

0.03

0.005

0.005

Al

0.1

0.05

0.005

0.005

K

0.5

0.05

0.01

0.005

Ca

0.5

0.05

0.01

0.008

Cr

0.3

0.05

0.01

0.002

Fe

0.3

0.03

0.01

0.002

Ni

0.1

0.01

0.01

0.002

Cu

0.1

0.01

0.005

0.002

Zn

0.3

0.05

0.005

0.002

Ag

0.1

0