硅多晶用硅粉理化性能的测定 第1部分：有效硅含量的测定 重量法.docxVIP

UIICS××××××YS中华人民共和国工业和信息化部发布××××-××-××实施××××-××-××发布硅多晶用硅粉理化性能的测定第1部分:有效硅含量的测定重量法Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderforpolycrystallinesilicon-Part1:Determinationofavailablesiliconcontent（讨论稿）

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中华人民共和国工业和信息化部发布

××××-××-××实施

××××-××-××发布

硅多晶用硅粉理化性能的测定

第1部分:有效硅含量的测定重量法

Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderforpolycrystallinesilicon-Part1:Determinationofavailablesiliconcontent

（讨论稿）

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中华人民共和国有色金属行业标准

ICSFORMTEXT77.040

FORMTEXTCCSH17

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

引言

工业硅粉广泛用于配制合金、制取高纯半导体材料和有机硅以及其他用途，是现代工业尤其是高科技产业必不可少的材料，应用于硅多晶行业及相关产业。受全球新能源政策的推进，工业硅产业链得到了迅猛发展。

随着产业的进步对于原材料的管控也逐步细化及行业的不断发展，现有的验收标准已经不能满足生产对于原材料控制的要求，不少硅多晶企业提出了更严格的指标参数，以控制硅粉原料的品质，以杜绝铸造杂质、反应过废硅粉掺入硅粉造成工艺大幅度的变化，影响硅多晶生产的稳定性。因此硅多晶用硅粉的指标参数的增加有利于硅多晶生产工艺更好的控制。对于硅多晶用硅粉的指标，硅多晶企业提出增加硅粉活性、硅粉浊度、硅粉有效硅含量等参数的测定，以实现硅粉质量的全方位控制。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》是硅多晶分析方法的系列标准，对提高硅多晶技术能力和工艺控制水平，满足国内外市场需求有重要意义。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》由一下几个部分构成：

第1部分：有效硅含量的测定重量法

第2部分：浊度的测定散射光法

随着近年来碳达峰和碳中和的国家政策，硅多晶行业发展迅速需求，本文件的制定对于研究硅多晶用工业硅粉的理化性质、把控产品质量有十分重要的意义，为质量升级提供技术支撑，具有较大的社会效益。

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硅多晶用硅粉有效硅含量的测定重量法

范围

本文件规定了多晶硅用硅粉有效硅含量的分析方法。

本文件适用于多晶硅用硅粉有效硅含量的测定，测定范围为1.00%-100.00%

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T8170数字修约规则与极限数值的表示和判定

术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

有效硅Effectivesilicon

是指金属硅粉中能够被酸溶解，参与四氯化硅或氯化氢反应生产三氯氢硅的酸溶解性硅含量。

方法原理

试样用水和硫酸润湿，加入硝酸和氢氟酸溶解,在石墨电热板将酸蒸发至干。将蒸干的坩埚放入高温炉中燃烧至恒重，根据溶解前后的质量差,扣除铁氧化成三氧化二铁的增量，计算硅的质量百分数。

干扰因素

5.1在方法中，酸的质量对检测结果有影响，实验试剂纯度要求满足标准。

5.2电热板温度的均匀度和时间对检测结果均有影响，在测定过程中保持时间的一致性。

5.3马弗炉的灰化温度和时间对检测结果有影响，在测定过程中温度和时间严格按文件要求。

试验条件