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利用湿法刻蚀在硅片加工出V形槽条纹
1刻蚀原理
硅的湿法刻蚀是指利用含有腐蚀剂的溶液对硅进行腐蚀,可分为各向同性腐蚀技术
和各向异性腐蚀技术。各向同性腐蚀是指各个晶向上的腐蚀速率相同,衬底和表面取向
的不同对腐蚀速率的影响不大。各向异性腐蚀是指硅的不同晶面在某些特定的腐蚀液中
被刻蚀的速率不同,导致各个晶向的腐蚀速率不同。现出结构边缘平滑的现象
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