电子显微分析方法.ppt

第六节X射线光电子能谱（XPS）第31页,共37页，星期六，2024年，6月一、基本原理X射线与物质相互作用时，物质吸收了X射线的能量并使原子中内层电子脱离原子成为自由电子，即X光电子，如图1－1。对于气体分子，X射线能量h?用于三部分：一部分用于克服电子的结合能Eb，使其激发为自由的光电子；一部分转移至光电子使其具有一定的动能Ek；一部分成为原子的反冲能Er。则h?＝Eb＋Ek＋Er第32页,共37页，星期六，2024年，6月对于固体样品，X射线能量用于：内层电子跃迁到费米能级，即克服该电子的结合能Eb；电子由费米能级进入真空成为静止电子，即克服功函数?；自由电子的动能Ek。则h?＝Eb＋Ek＋?第33页,共37页，星期六，2024年，6月二、XPS的应用化学分析元素成份分析：可测定除氢以外的全部元素，对物质的状态没有选择，样品需要量很少，可少至10-8g，而灵敏度可高达10-18g，相对精度有1％，因此特别适于作痕量元素的分析；元素的定量分析：从光电子能谱测得的信号是该物质含量或相应浓度的函数，在谱图上它表示为光电子峰的面积。目前虽有几种XPS定量分析的模型，但影响定量分析的因素相当复杂。第34页,共37页，星期六，2024年，6月表面污染分析由于对各个元素在XPS中都会有各自的特征光谱，如果表面存在C、O或其它污染物质，会在所分析的物质XPS光谱中显示出来，加上XPS表面灵敏性，就可以对表面清洁程度有个大致的了解；如图是Zr样品的XPS图谱，可以看出表面存在C、O、Ar等杂质污染。第35页,共37页，星期六，2024年，6月谢谢！第36页,共37页，星期六，2024年，6月感谢大家观看第37页,共37页，星期六，2024年，6月关于电子显微分析方法第一节离子探针离子探针仪是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表面，使之激发和溅射二次离子，以进行表面成分分析或者对样品进行原子层的剥层。与电子探针相比，离子探针的分析深度小（小于5nm），采样质量小，检测灵敏度高，可分析所有的元素，分析时间短。第2页,共37页，星期六，2024年，6月第3页,共37页，星期六，2024年，6月第4页,共37页，星期六，2024年，6月第二节低能电子衍射低能电子衍射利用10～500eV能量的电子入射表面，利用弹性背散射电子波的相互干涉产生衍射花样。由于样品物质与电子的强烈相互作用，常常使参与衍射的样品体积只是表面一个原子层；即使是稍高能量的电子也限于2～3层原子，分别以二维的方式参与衍射，只是使花样复杂一些而已。低能电子衍射成为固体表面结构分析的极为有效的工具。第5页,共37页，星期六，2024年，6月真空度达1.33×10-8Pa液氮冷却第6页,共37页，星期六，2024年，6月低能电子衍射的应用研究晶体的表面原子排列研究汽相沉积表面膜的生长研究氧化模的形成研究气体吸附和催化第7页,共37页，星期六，2024年，6月第三节俄歇电子能谱（AES)第8页,共37页，星期六，2024年，6月电子跃迁过程原子的内层电子被击出后，处于激发态的原子恢复到基态有两种互相竞争的过程：1）发射X射线荧光，2）发射俄歇电子；俄歇电子发射过程：原子内层电子空位被较外层电子填入时，多余的能量以无辐射弛豫传给另一个电子，并使之发射；俄歇电子常用X射线能线来表示，如KLⅠLⅡ俄歇电子表示最初K能级电子被击出，LⅠ能级上的一个电子填入K层空位，多余的能量传给LⅡ能级上的一个电子并使之发射出来。俄歇跃迁通常有三个能级参与，至少涉及两个能级，所以第一周期的元素不能产生俄歇电子。第9页,共37页，星期六，2024年，6月KL1L2X射线高能电子KLL俄歇电子俄歇电子的产生过程第10页,共37页，星期六，2024年，6月俄歇电子产额俄歇电子和X荧光产生几率是互相关联和竞争的，对于K型跃迁：ωK:荧光产额；α：俄歇电子产额。俄歇电子产额随原子序数的变化如图。对于Z?14的元素，采用KLL电子来鉴定；对于Z14的元素，采用LMM电子较合适；对于Z?42的元素，选用MNN和MNO电子为佳。第11页,共37页，星期六，2024年，6月平均俄歇电子产额随原子序数的变化平均俄歇电子产额随原子序数的变化第12页,共37页，星期六，2024年，6月俄歇电子的逸出深度：1～10?，只相当于表面几个原子层，因此俄歇电子能谱仪成为有效的表面分析工具。其分辨率直接与束斑尺寸相当。俄歇电子峰的宽度：取决于自然宽度和跃