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GEM400编程基础与实践
1.GEM400概述
1.1GEM400的历史与发展
GEM400是半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中的一个重要标准，旨在规范半导体制造设备与主机系统之间的通信。该标准由SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational(SEMI)制定，广泛应用于半导体制造行业。GEM400的发展经历了多个版本的迭代，每个版本都在前一版本的基础上进行了改进和扩展，以适应不断变化的制造环境和技术需求。
1.2GEM400的主要功能
GEM400标准定义了设备与主机之间的
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